硅改性鋁化物涂層的CVD制備工藝
本文關(guān)鍵詞:硅改性鋁化物涂層的CVD制備工藝
更多相關(guān)文章: 涂層 化學(xué)氣相沉積 鋁-硅 Inconel 合金
【摘要】:研究了CVD法制備硅改性鋁化物涂層工藝。結(jié)果表明,采用先滲硅后滲鋁的兩步法工藝可在Inconel 718表面獲得鋁-硅涂層。鋁-硅涂層分為明顯的兩層結(jié)構(gòu),內(nèi)層富硅,外層富鋁。硅的加入阻礙高溫條件下Al原子的內(nèi)擴(kuò)散,并促進(jìn)了試樣表面Al2O3膜的生成。鋁-硅涂層具有比單一的鋁化物涂層更為優(yōu)秀的耐高溫氧化性能。
【作者單位】: 武漢材料保護(hù)研究所;特種表面材料及應(yīng)用技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】: 涂層 化學(xué)氣相沉積 鋁-硅 Inconel 合金
【分類(lèi)號(hào)】:V263
【正文快照】:
【參考文獻(xiàn)】
中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條
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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】
中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條
1 霍文q,
本文編號(hào):919346
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