本文關(guān)鍵詞：提高載體驅(qū)動(dòng)硅微陀螺靈敏度的方法

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【摘要】：載體驅(qū)動(dòng)硅微陀螺是一種利用體微工藝制備的新型電容式振動(dòng)MEMS陀螺,它安裝于旋轉(zhuǎn)飛行器上,利用載體的自旋作為驅(qū)動(dòng)。當(dāng)載體發(fā)生橫向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),敏感質(zhì)量受到周期性科氏力的作用,產(chǎn)生振動(dòng),從而敏感輸入角速度。針對(duì)該種MEMS陀螺,首先介紹了陀螺的工作原理和電容式檢測結(jié)構(gòu),然后詳細(xì)分析了差分電容與敏感質(zhì)量偏轉(zhuǎn)角之間的關(guān)系,最后提出了一種通過調(diào)節(jié)電容拾取電路的脈沖信號(hào)的占空比,來提高陀螺靈敏度的方法。實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果表明,當(dāng)占空比由50%調(diào)整到75%時(shí),相應(yīng)輸出電壓峰峰值可由10.7 V提高到13.1 V,提高幅度達(dá)22.43%。理論分析和實(shí)驗(yàn)結(jié)果均表明,該方法可簡便有效地提高陀螺靈敏度,具有實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。
【作者單位】： 內(nèi)蒙古財(cái)經(jīng)大學(xué)計(jì)算機(jī)信息管理學(xué)院;北京信息科技大學(xué)傳感技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 陀螺靈敏度 占空比 電容式檢測結(jié)構(gòu) MEMS陀螺
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61563038) 內(nèi)蒙古自治區(qū)高等學(xué)校創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)發(fā)展計(jì)劃支持(NMGIRT-A1609)
【分類號(hào)】：V241.5
【正文快照】： 微機(jī)械MEMS陀螺是一種利用IC工藝加工制作的新型陀螺。它具有尺寸小,重量輕,響應(yīng)快,抗沖擊能力強(qiáng),適用于惡劣環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)[1-2]。MEMS陀螺以其優(yōu)越的特點(diǎn),有著十分喜人的應(yīng)用前景,例如,計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)、智能手機(jī)穩(wěn)定系統(tǒng)、飛行器姿態(tài)控制系統(tǒng)等[3-6]。微機(jī)械陀螺的種類很多,不過絕大

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：903172