本文關(guān)鍵詞：微陀螺儀檢測(cè)平衡回路建立與驗(yàn)證

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【摘要】：基于梳齒電容微結(jié)構(gòu),分析了電壓驅(qū)動(dòng)梳齒電容振動(dòng)產(chǎn)生靜電力的工作原理;針對(duì)微陀螺儀開環(huán)直接檢測(cè)的不足,采用靜電力平衡哥氏力的方法構(gòu)建平衡回路,抑制哥氏振動(dòng)。提取了微陀螺儀哥氏輸出信號(hào)振動(dòng)幅值;以哥氏振動(dòng)幅值為控制量,設(shè)計(jì)了微陀螺儀檢測(cè)平衡回路。仿真和實(shí)驗(yàn)表明構(gòu)建的檢測(cè)平衡回路能夠有效地平衡哥氏力,抑制哥氏振動(dòng),使質(zhì)量塊回到平衡位置,微陀螺儀標(biāo)度因數(shù)線性度和對(duì)稱性有顯著提高,測(cè)量范圍、閾值和分辨率等性能均有不同程度改善。
【作者單位】： 鄭州輕工業(yè)學(xué)院電氣信息工程學(xué)院;東南大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院;河南機(jī)電高等�？茖W(xué)校;
【關(guān)鍵詞】： 微陀螺儀 檢測(cè)平衡回路 哥氏效應(yīng) 閉環(huán)控制
【分類號(hào)】：V241.6
【正文快照】： 0引言微陀螺儀是利用MEMS技術(shù)、依據(jù)哥氏效應(yīng)原理制作的一種角速度慣性傳感器,具有體積小、重量輕、功耗低、成本低等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用在汽車姿態(tài)控制、機(jī)器人自主導(dǎo)航、防抖動(dòng)穩(wěn)定平臺(tái)等中低精度測(cè)量領(lǐng)域[1-2]。按照工作原理的不同,微陀螺儀可分為振動(dòng)型、轉(zhuǎn)子型和其他介質(zhì)型，

本文編號(hào)：728930