宇航器件空間輻射效應(yīng)地面模擬試驗與評估標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范體系
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【部分圖文】:
圖2相同LET重離子入射引起的SEU截面
已有研究表明:在重離子本征LET值低于器件LET閾值時,高能重離子仍能通過與材料原子發(fā)生核反應(yīng)產(chǎn)生高于LET閾值的次級粒子,引發(fā)低截面的單粒子翻轉(zhuǎn)效應(yīng)(singleeventupset,SEU),如圖2所示。由圖2(a)可見,不同能量重離子引發(fā)單粒子效應(yīng)的表征程度存在差異,單....
圖3BGA封裝
現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GJB7242及國外相關(guān)試驗標(biāo)準(zhǔn)中,通常在開展重離子單粒子效應(yīng)試驗時,要求器件先開封并去除芯片鈍化層外的保護(hù)層;要求重離子在硅材料中的射程應(yīng)大于等于30μm,以確保重離子能入射到器件的敏感區(qū)。隨著器件封裝工藝的發(fā)展,正裝BGA、倒裝BGA、3D堆疊封裝、SiP系統(tǒng)級封裝....
圖4CMOS工藝多層金屬布線層
當(dāng)器件特征尺寸縮小到納米尺度,由于多層布線工藝的發(fā)展及倒封裝技術(shù)的應(yīng)用,器件單粒子效應(yīng)敏感區(qū)與器件表面之間的距離增大。COMS工藝多層金屬布線層標(biāo)準(zhǔn)如圖4所示。0.5μmCMOS工藝約3層布線,頂層布線厚度小于10μm;而標(biāo)準(zhǔn)0.65nmCMOS工藝可多達(dá)10余層金屬布線,頂....
圖5能量為25MeV的不同種類重離子在硅中的射程[16]
當(dāng)重離子的單核子能量較小且LET值較高時,其射程僅勉強(qiáng)滿足30μm的射程要求,如圖5所示,射程不足風(fēng)險增大。由于高Z金屬布線材料及襯底材料對重離子的散射及阻擋作用,離子到達(dá)靈敏區(qū)會發(fā)生能量展寬和射程歧離,離子的有效LET值與器件表面LET值或等效為硅材料后的“有效LET值”均存在....
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