靜電加速度計高壓執(zhí)行機到電容位移傳感耦合噪聲的研究
【圖文】:
華 中 科 技 大 學 碩 士 學 位 論 文1 緒論1 課題研究背景與現(xiàn)狀進入 21 世紀,地球重力測量迎來了全新一代配備了高精度慣性加速度測量系速度計和梯度儀)的衛(wèi)星任務。其中包括 CHAMP(Challenging Minisateyload)[1-3]衛(wèi)星任務,GRACE(GravityRecoveryandClimateExperiment)[4-6]衛(wèi)星任及 GOCE(Gravity Field and Steady-State Ocean Circulation Explorer)[7-11]衛(wèi)星任務首要任務是研究地球的重力場及其時空變化,還有 GRAIL(Gravity Recovery erior Laboratory)[12, 13]任務是用來探究月球重力場的。
由于靜電加速度計[21]具有精度高、體積小、能實現(xiàn)六自由度的同時測量以及技術(shù)成熟等特點,廣泛應用在衛(wèi)星重力測量[22-25]、空間引力波探測[26-31]等項目中,而其慣性傳感技術(shù)也被應用到空間等效性原理驗證[32-34]等項目中。CHAMP、GRACE 和GOCE 衛(wèi)星分別搭載了由 ONERA 公司研制的 STAR[35, 36]、SuperSTAR[37, 38]和GRADIO[39, 40]高精度靜電加速度計,,靜電加速度計是各衛(wèi)星任務中搭載的關鍵載荷,其精度決定著重力衛(wèi)星任務的精度。課題組從 2000 年開始對高精度靜電懸浮加速度計以及慣性傳感器進行研究[41-44],并分別對 3×10-10m/s2/Hz1/2、10-12m/s2/Hz1/2精度的加速度計設計出了 2×10-6pF/Hz1/2、2×10-7pF/Hz1/2精度的電容位移傳感電路,為課題組高分辨率加速度計的研制提供了技術(shù)支持[45, 46]。靜電加速度計的分辨率很高,但是量程只有μg量級,受限于地面重力加速度 g,無法直接對加速度計的性能進行測(a)地面高壓懸浮測試 (b)加速度計噪聲功率譜圖 1-2 課題組地面高壓懸浮方案測試[20]
【學位授予單位】:華中科技大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2019
【分類號】:V447
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本文編號:2707782
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