本文關(guān)鍵詞：比較法研究微細(xì)尺度氮化硅表面自然對流換熱

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【摘要】：微細(xì)尺度的對流換熱與常規(guī)尺度的有很大不同,采用比較法研究了微細(xì)尺度水平氮化硅表面空氣自然對流換熱的問題。利用標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝和簡單的post-CMOS工藝制作出微熱板(MHP)測試結(jié)構(gòu)并實驗測試,對測試方法的準(zhǔn)確性進(jìn)行了有限元仿真。結(jié)果表明:面積為43.5 mm×43.5 mm的水平氮化硅表面的自然對流的傳熱熱導(dǎo)為2.63×10~(-5)W/K,由此計算出的自然對流系數(shù)高達(dá)1.39×10~4W/(m~2·K),遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)尺度下空氣自然對流系數(shù)。
【作者單位】： 大連理工大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微細(xì)尺度 自然對流換熱 比較法 微熱板
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(61131004) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費項目(DUT14LAB11)
【分類號】：TK124
【正文快照】： 許多微細(xì)尺度下的物理現(xiàn)象與常規(guī)尺度的有很大不同[1],比如當(dāng)物體尺寸縮小106倍時,物體的比表面積就增大106倍,導(dǎo)致與此相關(guān)的力、燃燒、流動和傳熱現(xiàn)象產(chǎn)生很大的變化。對于微細(xì)尺度傳熱研究來說,它是20世紀(jì)80年代為解決微電子器件冷卻問題發(fā)展起來的[2],之后引起了廣泛關(guān)注

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1014858