發(fā)布時(shí)間：2017-09-30 20:44

  本文關(guān)鍵詞：精密數(shù)控拋光碳化硅表面去除特性研究（英文）

  更多相關(guān)文章： 精密拋光 表面質(zhì)量 去除特性 碳化硅

【摘要】：計(jì)算機(jī)數(shù)控精密機(jī)械拋光技術(shù)是制造高精度、高質(zhì)量光學(xué)元件表面的主要技術(shù)之一。然而,對(duì)于碳化硅材料表面去除特性方面的研究卻相對(duì)較少。在航天航空領(lǐng)域中,陶瓷類材料碳化硅的應(yīng)用較為廣泛。針對(duì)計(jì)算機(jī)數(shù)控精密機(jī)械拋光技術(shù),根據(jù)一系列的拋光實(shí)驗(yàn),研究并總結(jié)出碳化硅材料表面的去除機(jī)理�；谶x擇不同等級(jí)的四種變量參數(shù):拋光磨頭轉(zhuǎn)速、拋光壓力、磨頭補(bǔ)償量和拋光頭角度,分析碳化硅材料表面的去除趨勢(shì)。采用Taguchi方法可以有效優(yōu)化實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)參數(shù)、減少實(shí)驗(yàn)整體次數(shù)。結(jié)果表明:文中總結(jié)出對(duì)應(yīng)的拋光參數(shù)組合和材料表面的去除特性,確保加工出高質(zhì)量表面的碳化硅材料。
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;香港理工大學(xué)工業(yè)及系統(tǒng)工程學(xué)系超精密加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室伙伴實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 精密拋光 表面質(zhì)量 去除特性 碳化硅
【基金】：廣東省引進(jìn)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目(201001G0104781202)
【分類號(hào)】：TN305.2
【正文快照】： 0 Introduction1 Computer controlled polishing processSurface quality requirements of reflectors in1.1 Precision mechanical polishing of ceramicoptical systems have becomes more stringent formaterialscritical applications in the aerospace industry.InA com

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1 楊玉s，

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