本文關鍵詞：HFCVD法高速生長金剛石的研究進展

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【摘要】：CVD金剛石有著接近甚至是超過天然金剛石的一些優(yōu)異性能,如高機械強度、高熱傳導率、低摩擦系數(shù)等,使得對CVD金剛石的研究吸引著眾多研究者們的不懈追求。文章就熱絲CVD法(HFCVD),闡述了近幾年來為了提高金剛石生長速率對傳統(tǒng)法做出的改進以及其相應的改進后的效果,解釋了這些改進對推進CVD金剛石工業(yè)化的意義并就這一方面在未來的發(fā)展作出展望。
【作者單位】： 武漢工程大學湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室;
【關鍵詞】： 熱絲CVD 金剛石 生長速率
【基金】：國家自然科學基金(No.11175137)
【分類號】：TN304.055
【正文快照】： 0引言金剛石獨特的晶體結構使得其展現(xiàn)出相較于其他材料優(yōu)異的性能,這包括已知材料中最高的硬度、最高的熱傳導率、最低的摩擦系數(shù)及從遠紅外到深紫外的高透過性、寬禁帶等[1]�？茖W技術日益發(fā)達的現(xiàn)代社會,各個領域對材料的性能提出了更高的要求,而金剛石因其所具備的性能能，

本文編號：920192