本文關(guān)鍵詞：HFCVD法高速生長(zhǎng)金剛石的研究進(jìn)展

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【摘要】：CVD金剛石有著接近甚至是超過天然金剛石的一些優(yōu)異性能,如高機(jī)械強(qiáng)度、高熱傳導(dǎo)率、低摩擦系數(shù)等,使得對(duì)CVD金剛石的研究吸引著眾多研究者們的不懈追求。文章就熱絲CVD法(HFCVD),闡述了近幾年來為了提高金剛石生長(zhǎng)速率對(duì)傳統(tǒng)法做出的改進(jìn)以及其相應(yīng)的改進(jìn)后的效果,解釋了這些改進(jìn)對(duì)推進(jìn)CVD金剛石工業(yè)化的意義并就這一方面在未來的發(fā)展作出展望。
【作者單位】： 武漢工程大學(xué)湖北省等離子體化學(xué)與新材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 熱絲CVD 金剛石 生長(zhǎng)速率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.11175137)
【分類號(hào)】：TN304.055
【正文快照】： 0引言金剛石獨(dú)特的晶體結(jié)構(gòu)使得其展現(xiàn)出相較于其他材料優(yōu)異的性能,這包括已知材料中最高的硬度、最高的熱傳導(dǎo)率、最低的摩擦系數(shù)及從遠(yuǎn)紅外到深紫外的高透過性、寬禁帶等[1]�？茖W(xué)技術(shù)日益發(fā)達(dá)的現(xiàn)代社會(huì),各個(gè)領(lǐng)域?qū)Σ牧系男阅芴岢隽烁叩囊?而金剛石因其所具備的性能能，

本文編號(hào)：920192