本文關(guān)鍵詞：鐵雜質(zhì)對真空定向凝固多晶硅電阻率的影響研究

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【摘要】：利用掃描電子顯微鏡-X射線能量色散譜、微波光電導(dǎo)衰減法和四探針電阻率測試儀等分析設(shè)備,結(jié)合Fe-Si二元相圖,研究了真空定向凝固多晶硅中Fe雜質(zhì)的賦存形態(tài)和硅錠從底部到頂部四個特征位置徑向電阻率的分布情況。結(jié)果表明:Fe雜質(zhì)在真空定向凝固多晶硅中的賦存形態(tài)主要為α-Fe(Si)和β-Fe(Si),過飽和固溶體α-Fe(Si)的分解是導(dǎo)致Fe雜質(zhì)在硅錠中形成沉淀相且濃度分布不均勻的重要原因;Fe雜質(zhì)在硅錠中不同位置形成的沉淀相與電阻率分布曲線波動相吻合。根據(jù)對Fe濃度與電阻率之間的關(guān)系以及不同溫度下Fe雜質(zhì)的賦存形態(tài),推導(dǎo)得出了真空定向凝固多晶硅中徑向電阻率分布與Fe雜質(zhì)濃度間的關(guān)系式,提出了提高硅錠電阻率均勻性的措施并通過實(shí)驗(yàn)得到驗(yàn)證。
【作者單位】： 昆明理工大學(xué)真空冶金國家工程實(shí)驗(yàn)室/復(fù)雜有色金屬資源清潔利用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;云南省有色金屬真空冶金重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室/云南省高校硅冶金與硅材料工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： Fe雜質(zhì) 真空定向凝固 多晶硅 電阻率 賦存形態(tài)
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(U1137601、61404063) 云南省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(2012FB125)資助
【分類號】：TN304.12
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6 郭小燕;王成國;;Ni_3Al-Mo復(fù)合材料的顯微特征及拉伸特性[J];電子顯微學(xué)報(bào);1990年03期

7 張冬云;李志波;趙恒;左鐵釧;;工藝參數(shù)對Rene80激光定向凝固組影響研究[J];應(yīng)用激光;2013年02期

8 劉玉聰;;定向凝固HgCdTe合金的生長參數(shù)對組分變化的影響[J];紅外與激光技術(shù);1986年01期

9 馮莉萍,黃衛(wèi)東,林鑫,楊海歐,楊健;熱處理對FGH95合金激光成形定向凝固顯微組織的影響[J];應(yīng)用激光;2002年02期

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1 李俊濤;吳劍濤;王禎;燕平;曾強(qiáng);;重型燃機(jī)用定向凝固合金及大尺寸葉片制備技術(shù)研究[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年

2 李琨;蘇彥慶;駱良順;李新中;郭景杰;傅恒志;;定向凝固Ti-45Al-5Nb合金的組織演化規(guī)律[A];第十二屆全國鑄造年會暨2011中國鑄造活動周論文集[C];2011年

3 祁鶴;丁賢飛;林均品;張來啟;陳國良;;定向凝固Ti-46Al-5Nb合金顯微組織的研究[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年

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5 王哲;劉坤;任子平;;大型圓臺鋼錠定向凝固溫度場數(shù)值模擬[A];2010全國能源與熱工學(xué)術(shù)年會論文集[C];2010年

6 林濤;王博;劉玉;胡玉燕;盧東亮;孫艷輝;陳紅雨;;定向凝固法提純冶金級硅[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集（第4分冊）[C];2010年

7 余文軸;馬文會;魏奎先;楊斌;戴永年;;電磁定向凝固改善鋁硅合金性能的研究[A];2012年全國冶金物理化學(xué)學(xué)術(shù)會議專輯（下冊）[C];2012年

8 趙九洲;;過偏晶合金快速定向凝固的數(shù)值模擬[A];2000年材料科學(xué)與工程新進(jìn)展（下）——2000年中國材料研討會論文集[C];2000年

9 趙坦;燕冰川;申健;張健;樓瑯洪;;液態(tài)金屬冷卻定向凝固對鑄件顯微組織的影響[A];動力與能源用高溫結(jié)構(gòu)材料——第十一屆中國高溫合金年會論文集[C];2007年

10 陳登明;楊治立;田世龍;廖道瀚;秦躍林;;LNGT72定向凝固的有限元模擬[A];2009中國功能材料科技與產(chǎn)業(yè)高層論壇論文集[C];2009年

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1 梅向陽;真空定向凝固法去除硅中金屬雜質(zhì)和晶體生長控制的研究[D];昆明理工大學(xué);2010年

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4 劉海霞;工藝因素對Al-4.5%Cu合金定向凝固組織及性能的影響[D];江蘇大學(xué);2009年

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4 宋華偉;多場耦合下定向凝固法制備多晶硅的數(shù)值模擬[D];南昌大學(xué);2015年

5 韓筱珩;中空側(cè)壁定向凝固傳熱實(shí)驗(yàn)分析[D];遼寧科技大學(xué);2015年

6 余燕;定向凝固制備Ni-Mn-Ga合金及外場訓(xùn)練[D];東北大學(xué);2013年

7 邵建國;定向凝固Mn-Sb自生復(fù)合材料組織與性能的研究[D];東北大學(xué);2013年

8 王剛;定向凝固提純金屬鎳實(shí)驗(yàn)研究[D];昆明理工大學(xué);2014年

9 張炎;Mg-Sm-χCa合金定向凝固行為研究[D];太原科技大學(xué);2015年

10 郭璐;鎂錳基合金定向凝固組織和性能的研究[D];太原科技大學(xué);2015年

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本文編號：920132