本文關(guān)鍵詞：激光聚焦偏移測量微小位移方法研究

  更多相關(guān)文章： 微小位移 激光聚焦偏移 空間濾波 測量精度 長期穩(wěn)定性

【摘要】：非接觸式納米精度位移測量在科研和工業(yè)生產(chǎn)中有重要應(yīng)用價值。本文闡述了一種基于激光聚焦偏移原理測量微小位移的方法,首先分析了此方法的測量精度、誤差及在所選光學(xué)元器件下的量程,進(jìn)而描述了實(shí)驗(yàn)裝置,并利用該裝置對一個平面反射鏡的微小位移進(jìn)行了測量,結(jié)果顯示位移測量精度優(yōu)于10 nm(1σ),與理論計算的結(jié)果吻合。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法對測量微小位移可達(dá)nm精度,可應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中對主軸振動、軸承球圓度等的在線精密測量。
【作者單位】： 浙江工業(yè)大學(xué)超精密加工研究中心;無錫邁福光學(xué)科技有限公司;紹興職業(yè)技術(shù)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微小位移 激光聚焦偏移 空間濾波 測量精度 長期穩(wěn)定性
【基金】：浙江省科技廳公益技術(shù)應(yīng)用研究(2015C31053)項(xiàng)目資助
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言隨著現(xiàn)代超精密制造和加工技術(shù)的不斷進(jìn)步[1-4]及其應(yīng)用領(lǐng)域的快速擴(kuò)展,許多采用傳統(tǒng)加工方法難以或無法實(shí)現(xiàn)的器件,在現(xiàn)代超精密制造和加工技術(shù)下變得很容易實(shí)現(xiàn)[5],如超精密非球面及自由球面X射線反射鏡的加工制造、大口徑非球面天文望遠(yuǎn)鏡的加工制造以及深紫外光刻機(jī)

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號：900715