本文關鍵詞：基于SOI的SOH電光調制器設計

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【摘要】：設計了一種基于絕緣層上硅(SOI)的推挽式硅-有機物混合(SOH)馬赫-曾德干涉型(MZI)電光調制器。利用薄膜模式匹配法對槽波導(slot)的光場分布進行了仿真分析,優(yōu)化后得到了限制因子為0.32的slot波導結構。采用推挽式馬赫-曾德干涉儀結構,并在相移臂嵌入LX M1非線性有機材料,得到半波電壓-長度積V_π·L為0.885V·mm、電學響應帶寬f_(RC)可達123.2GHz、開關速度為8.11ps的SOH調制器結構。利用基于本征有限元法求解麥克斯韋方程,對共平面波導電極系統(tǒng)進行了計算仿真,獲得了特性阻抗接近50Ω、高頻速率匹配的電極結構。
【作者單位】： 中國科學院半導體研究所集成光電子學國家重點聯(lián)合實驗室;河南仕佳光子科技有限公司;
【關鍵詞】： SOH 馬赫-曾德干涉儀 電光調制器 slot波導 共平面波導行波電極
【基金】：國家自然科學基金項目(61274047);國家自然科學基金重點項目(61435013) 國家自然科學青年基金項目(61307034,61205044)
【分類號】：TN761
【正文快照】： 0引言隨著以大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)、移動互聯(lián)網(wǎng)和云計算為代表的大智移云時代的到來,傳統(tǒng)的模式已無法應對大數(shù)據(jù)的寬帶寬和高速率流量需求,全光網(wǎng)絡的現(xiàn)實需求迫在眉睫,光通信向著更高速率和更大容量方向演進和發(fā)展。光學調制器是光數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)的關鍵器件之一,其主要作用是實現(xiàn)信

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5 文s，

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