本文關(guān)鍵詞：N-polar GaN上的歐姆接觸:材料制備、金屬化方案與機理

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【摘要】：氮極性(N-polar)GaN與鎵極性(Ga-polar)GaN極性相反,且具有較高的表面化學活性,使其在光電子、微電子及傳感器等領(lǐng)域逐漸受到關(guān)注。文章結(jié)合一些相關(guān)研究報道,綜述了N-polar GaN上歐姆接觸的研究進展。首先對N-polar GaN材料的制備進行了分析,隨后對N-polar GaN的歐姆接觸電極的金屬化方案及歐姆接觸機理等內(nèi)容進行了綜合討論,以期為實際N-polar GaN歐姆接觸研究提供一些參考。
【作者單位】： 石家莊學院物理與電氣信息工程學院;河北工業(yè)大學信息工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 氮極性 氮化鎵 歐姆接觸 氮化鋁
【基金】：河北省科技計劃項目(F2013106079;15210606) 石家莊市科學技術(shù)研究與發(fā)展指導計劃項目(11113481) 石家莊學院科研平臺項目(XJPT002)
【分類號】：TN304
【正文快照】： 0引言GaN以寬禁帶、高飽和電子速率、高擊穿電壓、高熱導率等材料特征及穩(wěn)定的物理化學特性在藍/紫外激光器、發(fā)光二極管、光電探測器和高溫大功率電子器件等方面日益受到研究者的重視[1-4]。其中接觸電阻小、表面形貌好、輪廓清晰度高且穩(wěn)定可靠的歐姆接觸是實現(xiàn)這一系列應用

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本文編號：748331