本文關(guān)鍵詞：基于微環(huán)諧振腔的可調(diào)諧濾波器的研究

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【摘要】：采用深紫外光刻及等離子體刻蝕等工藝制備基于絕緣體上硅材料的環(huán)形濾波器,且微環(huán)半徑僅為5μm。制備基于單微環(huán)的4通道光分插復(fù)用器,器件尺寸僅為3000μm×500μm。測(cè)試結(jié)果表明,該器件可以很好地實(shí)現(xiàn)上下載功能。其自由頻譜寬度約為19.6 nm,最大消光比為19.76 d B。同時(shí)優(yōu)化設(shè)計(jì)制備基于跑道型雙微環(huán)可調(diào)諧光分插復(fù)用器。對(duì)這兩種結(jié)構(gòu)的光分插復(fù)用器的相鄰信道間串?dāng)_進(jìn)行測(cè)試,基于單微環(huán)濾波器和跑道型雙微環(huán)濾波器的信道間最大串?dāng)_分別為-11.94 d B和-20.04 d B。所設(shè)計(jì)的基于雙微環(huán)光分插復(fù)用器上下載通道與主信道間沒有交叉波導(dǎo)結(jié)構(gòu),因此相鄰?fù)ǖ来當(dāng)_明顯低于單環(huán)型的光分插復(fù)用器。同時(shí)設(shè)計(jì)并制備基于雙微環(huán)PIN結(jié)型電光調(diào)制器。當(dāng)偏置電壓增加到1.6 V時(shí),諧振峰發(fā)生0.78 nm的藍(lán)移,并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)器件 脊形波導(dǎo) 可調(diào)諧濾波器 電光調(diào)制器 光復(fù)用技術(shù) 諧振腔
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃(2013AA031402) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61274047,61275029,61205044)
【分類號(hào)】：TN713
【正文快照】： 1引言可重構(gòu)光分插復(fù)用器(ROADM)位于多節(jié)點(diǎn)光纖通信網(wǎng)絡(luò)的中間節(jié)點(diǎn)處,可以有選擇性地從光纖中下載某個(gè)光信號(hào)到本地、上載本地用戶的信號(hào)進(jìn)入光纖信道以及直通那些不需要在本地節(jié)點(diǎn)進(jìn)行任何處理的光信號(hào)。它可以不經(jīng)過光/電/光轉(zhuǎn)換即可實(shí)現(xiàn)波分復(fù)用信道的分插功能,大大降低交

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：599904