本文關(guān)鍵詞：用于激光防護(hù)非逆向反射雙層閃耀光柵的研究

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【摘要】：提出一種用于激光(工作波長為1 064nm)防護(hù)的非逆反射雙層閃耀光柵。以光柵方程、閃耀波長和閃耀角關(guān)系公式為基礎(chǔ),研究了雙層閃耀光柵光線分布特性,分析了上下微結(jié)構(gòu)閃耀角度關(guān)系;設(shè)計(jì)了雙層閃耀光柵各特性參數(shù),其上、下層光柵閃耀角分別為50°和6°,周期均為5.2μm,光學(xué)元件厚為0.5mm,在下表面鍍Ag反射膜。采用反應(yīng)離子刻蝕(RIE)技術(shù)制作雙層閃耀光柵,通過輪廓儀進(jìn)行測試。研究結(jié)果表明,雙層閃耀光柵的光學(xué)特性受微結(jié)構(gòu)形狀誤差影響較大,當(dāng)光線垂直照射雙層閃耀光柵時(shí),出射光與入射光形成20°夾角,實(shí)現(xiàn)了激光非逆反射的目的。
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 激光防護(hù) 非逆反射 雙層閃耀光柵 反應(yīng)離子刻蝕(RIE)
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11474037)資助項(xiàng)目
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言激光技術(shù)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)療、商業(yè)、信息和軍事等領(lǐng)域[1~3],對激光損傷防護(hù)和目標(biāo)自我保護(hù)一直受到關(guān)注。例如運(yùn)用激光探測設(shè)備探測搜索目標(biāo)等[4],為了提高目標(biāo)的生存能力,必須努力減小目標(biāo)激光反射回波能量以降低激光探測設(shè)備探測目標(biāo)的能力,主要采用涂敷吸波涂料

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本文編號：540088