本文關(guān)鍵詞：利用光柵提高紅外非制冷熱探測(cè)器效率的研究

  更多相關(guān)文章： 非致冷 紅外 探測(cè)器 等離子體諧振 光柵 結(jié)構(gòu)優(yōu)化

【摘要】：非制冷探測(cè)器的制備,最常用的方法是通過微機(jī)械加工在CMOS讀出電路上制作懸橋來實(shí)現(xiàn)。傳感器將吸收的熱量轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào)或電流信號(hào)變化由檢測(cè)電路檢出,但該結(jié)構(gòu)吸收效率偏低。本研究提出了一種基于表面等離子體諧振吸收的紅外探測(cè)器結(jié)構(gòu)。分析了光柵及器件結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)紅外光學(xué)吸收的影響,采用COMSOL軟件仿真,研究了金屬-介質(zhì)-金屬三明治結(jié)構(gòu)紅外探測(cè)器的吸收效率,并通過結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化使吸收結(jié)構(gòu)對(duì)特定紅外波段的吸收率達(dá)到98%以上,在整個(gè)波長范圍內(nèi)平均吸收效率達(dá)30.5%。
【作者單位】： 渤海大學(xué)新能源學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 非致冷 紅外 探測(cè)器 等離子體諧振 光柵 結(jié)構(gòu)優(yōu)化
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.11304020)
【分類號(hào)】：TN215
【正文快照】： 非制冷熱成像探測(cè)器陣列的研究于20世紀(jì)60年代被提出,并于20世紀(jì)70年代末進(jìn)入迅速發(fā)展階段。在過去的幾年內(nèi),非制冷紅外焦平面技術(shù)得到了飛速發(fā)展,并在軍事、商業(yè)和民事中得到成功應(yīng)用。非制冷熱成像探測(cè)陣列的使用使得整個(gè)紅外熱成像系統(tǒng)省去了復(fù)雜的制冷系統(tǒng),成本大大降低,

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張培琨,李育林,劉家英,喬學(xué)光,忽滿利,賈宏志;線性啁啾光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化的定量研究方法[J];光子學(xué)報(bào);1998年06期

2 吳建宏,陳家璧,唐敏學(xué),吳中林;隨機(jī)光柵定向散射器的設(shè)計(jì)[J];光電子·激光;2001年10期

3 盧向東,傅克祥,王植恒,麻建勇;橢偏法測(cè)光柵參數(shù)的可行性理論研究[J];激光雜志;2003年01期

4 陳德偉;;采樣光柵設(shè)計(jì)與衍射行為分析[J];激光雜志;2006年03期

5 葉超;謝永軍;付紹軍;何世平;;采用彈性基底制作變間距光柵[J];微細(xì)加工技術(shù);2006年02期

6 葉錫標(biāo);周成剛;張陽;黃文浩;;基于透反式二維絕對(duì)零位光柵的光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)[J];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào);2007年03期

7 葉燕;陳林森;;埋入式光柵雙通道特性及其應(yīng)用研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2008年12期

8 沈洪斌;張雛;司賓強(qiáng);;基于狹縫方程的二次扭曲光柵的設(shè)計(jì)與衍射模擬[J];激光雜志;2008年02期

9 方明月;段永遠(yuǎn);諶夏;彭姝慧;蒲利春;;非線性光柵器件[J];重慶工學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年03期

10 劉榮祁;陳建榮;林寶卿;莊其仁;;浮雕矩形光柵刻槽深度的衍射測(cè)量方法[J];應(yīng)用激光;2009年03期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉恒彪;王占山;;納米光柵結(jié)構(gòu)長度標(biāo)準(zhǔn)研制[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年

2 耿康;陳新榮;吳建宏;;用衍射效率的光譜分布判斷多層介質(zhì)膜光柵掩膜形貌[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年

3 白昱;金玉;劉岳峰;馮晶;孫洪波;;光柵微結(jié)構(gòu)提高有機(jī)電致發(fā)光器件光取出效率的研究[A];全國第15次光纖通信暨第16屆集成光學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2011年

4 李術(shù)新;梁東;邢岐榮;徐世祥;郎利影;田震;柴路;王清月;;零級(jí)深度金屬光柵對(duì)太赫茲波透過特性的理論研究[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

5 曹召良;盧振武;李鳳有;孫強(qiáng);;亞波長周期結(jié)構(gòu)光柵的制作工藝和理論關(guān)系研究[A];2002年中國光學(xué)學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2002年

6 楊德興;王海濱;趙建林;張鵬;郭夏銳;;層狀多重體全息光柵的研究[A];中國光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

7 周常河;;低密度光柵的飛秒信息處理技術(shù)[A];2006年全國強(qiáng)場(chǎng)激光物理會(huì)議論文集[C];2006年

8 閔長俊;焦小瑾;王沛;明海;;表面有凹槽的亞波長金屬光柵結(jié)構(gòu)中光的透射現(xiàn)象的研究[A];光子科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化——長三角光子科技創(chuàng)新論壇暨2006年安徽博士科技論壇論文集[C];2006年

9 賴建軍;梁華鋒;王彬;翟小鋒;;基于金屬/介質(zhì)/金屬光柵的窄帶紅外發(fā)射/吸收結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[A];中國光學(xué)學(xué)會(huì)2010年光學(xué)大會(huì)論文集[C];2010年

10 劉全;吳建宏;李朝明;;用于ICF系統(tǒng)的取樣光柵的設(shè)計(jì)及衍射行為研究[A];2005年中國光學(xué)學(xué)會(huì)全息與光學(xué)信息處理專業(yè)委員會(huì)年會(huì)暨建會(huì)20周年紀(jì)念會(huì)[C];2005年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 金娃;PCF熱傳導(dǎo)與形變機(jī)理及在熔接和光柵制備中的應(yīng)用研究[D];燕山大學(xué);2015年

2 武華;面向硅基光子集成的光柵器件研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2015年

3 吳麗翔;取樣光柵的刻蝕深度空間分布微調(diào)方法[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2015年

4 李朝陽;物像光柵自拼接在超短超強(qiáng)激光中的應(yīng)用問題研究[D];南京理工大學(xué);2015年

5 劉麗娟;液晶/聚合物光柵激光器性能的研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2016年

6 王瑞;亞波長微偏振光柵探測(cè)器的研制方法及其偏振特性研究[D];中國科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所);2016年

7 吳華明;硅基微納二元非均勻光柵的研究及應(yīng)用[D];華中科技大學(xué);2010年

8 董毅;用于光互連的體波導(dǎo)光柵耦合器：分析、制備和應(yīng)用[D];山東大學(xué);2008年

9 韓建;全息光柵曝光光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化及光柵掩模參數(shù)控制方法研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

10 陳上碧;多層介質(zhì)膜脈寬壓縮光柵的清洗及閾值研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王亞如;一維亞波長介質(zhì)與金屬光柵的模態(tài)、光譜與近場(chǎng)分布及其應(yīng)用[D];江蘇大學(xué);2016年

2 黃炎龍;微尺度光柵的激光制備方法研究及應(yīng)用[D];江蘇大學(xué);2016年

3 任霄鈺;光柵共振耦合中的共振特征與譜對(duì)稱性研究[D];重慶師范大學(xué);2016年

4 柳秋風(fēng);分布反饋光柵對(duì)聚合物薄膜受激輻射的調(diào)節(jié)和爆炸物探測(cè)[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年

5 羅鉑靚;相位光柵的設(shè)計(jì)及其在激光束相干合成中的應(yīng)用[D];四川大學(xué);2006年

6 盧鷺云;寬光譜光柵側(cè)面耦合集光技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2015年

7 趙帥;相位取樣光柵理論研究及在色散和色散斜率補(bǔ)償中的應(yīng)用[D];西南交通大學(xué);2007年

8 栗宏亮;二維全息聚合物/液晶光柵的制備研究[D];長春理工大學(xué);2011年

9 陳娟;二維金屬光柵的偏振控制及透射特性研究[D];西南交通大學(xué);2012年

10 王聰;大口徑光柵拼接誤差控制技術(shù)研究[D];電子科技大學(xué);2012年

，

本文編號(hào)：521273