本文關(guān)鍵詞：深硅杯濕法腐蝕中金屬保護(hù)工藝研究

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【摘要】：提出了一種新的采用聚酯膠膜保護(hù)金屬圖形的硅濕法腐蝕工藝,解決了深硅杯濕法腐蝕中金屬保護(hù)難題,允許在器件完成所有IC工藝后再進(jìn)行深硅杯濕法腐蝕。通過(guò)工藝試驗(yàn)研究,增加貼膜前的預(yù)處理和貼膜后的熱壓等工藝,能夠有效延長(zhǎng)掩膜的保護(hù)時(shí)間,在TMAH濕法腐蝕工藝條件下掩膜能夠堅(jiān)持6h,且成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅280μm的深刻蝕。新工藝與IC工藝兼容,簡(jiǎn)單可靠,也能進(jìn)行圓片級(jí)批量腐蝕。
【作者單位】： 南京電子器件研究所;微波毫米波單片集成和模塊電路重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 硅濕法腐蝕 掩膜 金屬圖形
【分類號(hào)】：TN405
【正文快照】： 引言體硅微加工技術(shù)是伴隨著MEMS技術(shù)的開(kāi)發(fā)和研究而發(fā)展起來(lái)的三維立體加工技術(shù),它使用濕法(如化學(xué)試劑和溶液)或者干法(如等離子和氣體)有選擇地刻蝕基底,通常在掩膜的輔助下來(lái)形成三維微機(jī)械結(jié)構(gòu)[1]。濕法刻蝕是利用化學(xué)反應(yīng)腐蝕特定區(qū)域的硅進(jìn)行刻蝕;干法刻蝕是在特定的工

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1 曾毅波;王凌云;谷丹丹;孫道恒;;超聲技術(shù)在硅濕法腐蝕中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2009年01期

2 邵慧慧;李樹強(qiáng);曲爽;李毓鋒;王成新;徐現(xiàn)剛;;濕法腐蝕制備藍(lán)寶石圖形襯底的研究[J];人工晶體學(xué)報(bào);2010年06期

3 楊鶯;陳治明;;濕法腐蝕工藝研究碳化硅晶體缺陷表面形貌[J];人工晶體學(xué)報(bào);2008年03期

4 李靜,吳孫桃,葉建輝,S.F.Y.Li;濕法腐蝕后硅表面形態(tài)微結(jié)構(gòu)的研究[J];微納電子技術(shù);2003年03期

5 范超;葉玉堂;劉霖;陳鎮(zhèn)龍;焦世龍;吳云峰;王昱琳;田驍;;濕法腐蝕進(jìn)程的紅外熱像學(xué)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2006年09期

6 黎永前;李薇;郭勇君;蘇磊;;復(fù)合濕法腐蝕工藝制備硅基三維曲面[J];光學(xué)精密工程;2013年06期

7 劉興權(quán),萬(wàn)明芳,陳效雙,張波,陸衛(wèi),沈?qū)W礎(chǔ);量子點(diǎn)的濕法腐蝕制備及尺寸分布研究[J];紅外與毫米波學(xué)報(bào);1998年06期

8 李海霞;;硅微條研制中的濕法腐蝕工藝(英文)[J];IMP & HIRFL Annual Report;2010年00期

9 朱鵬;幸研;易紅;湯文成;;Metropolis蒙特卡羅模擬濕法腐蝕算法研究及應(yīng)用[J];半導(dǎo)體學(xué)報(bào);2008年01期

10 王藝帆;周浪;;超聲波輔助濕法腐蝕制備多晶Si低反射表面[J];半導(dǎo)體技術(shù);2008年10期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 陳驕;硅的各向異性濕法腐蝕工藝及其在微納結(jié)構(gòu)中的應(yīng)用研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2010年

2 蔣玉榮;硅基MEMS三維結(jié)構(gòu)濕法腐蝕技術(shù)研究[D];武漢理工大學(xué);2007年

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本文編號(hào)：521199