本文關鍵詞：透射電子顯微鏡圖像自動聚焦技術研究

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【摘要】：針對目前透射電子顯微鏡應用中,普遍以肉眼判斷、手工聚焦的方式,存在聚焦質量欠佳、受人員因素干擾大、工作效率低等問題,通過對比分析常規(guī)自動聚焦方法,提出基于Canny算子的自動聚焦方法。與目前廣泛應用的傅立葉變換法對比,其具有速度快、精度高、適合搜索的特點。
【作者單位】： 東北大學新材料技術研究院;
【關鍵詞】： 聚焦評價函數 canny算子 聚焦搜索 DM Scripting 透射電子顯微鏡
【基金】：沈陽市科技計劃項目(F15-199-1-02);沈陽市科技計劃項目(F14-231-1-04)
【分類號】：TN16
【正文快照】： 0引言 1 9 3 2年R u s k a發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡(T E M),使人類觀察微小物質的能力發(fā)生了質的飛躍。T E M是波長極短的電子束經過電磁透鏡進行聚焦后穿透樣品成像,顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制,因此電子顯微鏡的理論分辨率(約0.1n m)遠高于光學顯微鏡

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本文編號：521193