本文關(guān)鍵詞：聚酰亞胺基底金屬薄膜激光刻蝕溫度場分布，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為研究脈沖激光刻蝕聚酰亞胺基底鍍金屬薄膜過程,采用有限元軟件COMSOL Multiphysics構(gòu)建高斯脈沖激光輻照復(fù)合材料的2維非穩(wěn)態(tài)物理模型,通過求解熱傳導(dǎo)方程計(jì)算不同功率激光輻照金屬薄膜的溫度場分布,討論不同激光參數(shù)對刻蝕進(jìn)程的影響。模擬結(jié)果表明:刻蝕深度主要受激光功率密度的影響,且隨著金屬薄膜厚度的增加,激光刻蝕深度先減小后保持不變。在刻蝕過程中,為了更好地保護(hù)基底,應(yīng)選擇大功率短脈寬的激光參數(shù);由于銅薄膜比鋁薄膜更難刻蝕,在銅薄膜的刻蝕過程中應(yīng)選擇較大功率密度的激光。結(jié)果有助于理解激光刻蝕過程,對實(shí)際刻蝕過程有一定的指導(dǎo)意義。
【作者單位】： 蘭州理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;蘭州空間技術(shù)物理研究所真空低溫技術(shù)與物理國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 脈沖激光 激光刻蝕 金屬薄膜 聚酰亞胺 溫度場 刻蝕深度
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51135005) 蘭州空間技術(shù)物理研究所開放基金項(xiàng)目(合同510審支(2015)X07-005號)
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言激光刻蝕也稱為激光燒蝕,是利用脈沖激光將材料表面迅速加熱氣化,達(dá)到材料局部去除的過程。它具0503009-1有高速、高精度[1]、高適應(yīng)性等特點(diǎn),同時(shí)還具有非接觸、不引入應(yīng)力、熱影響區(qū)小、刻蝕面質(zhì)量好、刻蝕時(shí)無噪音、刻蝕過程容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制等優(yōu)點(diǎn),因此激光刻蝕在

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2 胡雪林;曹宇;李峰平;;激光入射角對振鏡掃描激光刻蝕質(zhì)量的影響[J];溫州大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2014年01期

3 謝燕燕，吳正亮，寧東，樓祺洪，，李縉，曹基文;C_（60）薄膜的準(zhǔn)分子激光刻蝕及形貌分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1995年09期

4 丁麗;程秀英;郭浩;莫育俊;;激光刻蝕金、銅納米粒子島膜的表面增強(qiáng)拉曼散射特性研究[J];河南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年04期

5 S. Yamada;等離子體的光電轉(zhuǎn)換以及激光刻蝕金納米顆粒(英文)[J];光散射學(xué)報(bào);2005年03期

6 錢曉峰;陳濤;祁恒;;準(zhǔn)分子激光刻蝕可變焦光路設(shè)計(jì)研究[J];激光技術(shù);2007年03期

7 楊迎春,管自生,馮文輝,葉自義,司宗興,宋延林,江雷;激光刻蝕sol-gelTiO_2薄膜的浸潤性研究[J];化學(xué)學(xué)報(bào);2002年10期

8 章琳,樓祺洪,魏運(yùn)榮,董景星,李鐵軍,黃峰;準(zhǔn)分子激光刻蝕聚合物微圖形制作研究[J];激光技術(shù);2002年02期

9 馬美娟;張運(yùn)海;滿寶元;;KrF準(zhǔn)分子激光刻蝕PMMA研究[J];激光技術(shù);2011年05期

10 孔令瑞;張菲;段軍;曾曉雁;;石英陶瓷激光刻蝕加工技術(shù)研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2013年11期

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1 朱效立;王偉;劉世炳;陳濤;左鐵釧;;KrF激光刻蝕PMMA若干現(xiàn)象的分析[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年

2 李汐;朱錦濤;黃少華;陸f ;;飛秒激光刻蝕GaAs表面所形成納米結(jié)構(gòu)的研究[A];第十六屆全國半導(dǎo)體物理學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2007年

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1 丁麗;激光刻蝕法制備金屬納米顆粒及其光譜特性研究[D];河南大學(xué);2007年

2 朱家瑩;激光刻蝕PPV的高熒光性能研究[D];黑龍江大學(xué);2010年

3 朱紀(jì)春;聚乙烯吡咯烷酮和聚乙烯咔唑的表面增強(qiáng)拉曼光譜研究及激光刻蝕金屬膠體的制備[D];河南大學(xué);2005年

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