薄膜體聲波(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)濾波器具有的Q值高、插入損耗低、帶外抑制好、功率容量高等優(yōu)點(diǎn),使其市場需求在5G(5th-generation,5 G)移動通信的商用化后得到了極大的提升。而隨著FBAR濾波器市場需求的增加,其性能要求也在不斷提高,隨之而來的性能測試問題也面臨著極大的挑戰(zhàn)。本文主要提出一種FBAR濾波器板上測試夾具及其校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)套件的設(shè)計(jì)方法,給非同軸接口(通常是平面的焊盤)的待測器件(DUT,Device Under Test)與同軸接口的測試儀器之間提供一個低損耗的電連接。提出一種快速得到板上測試夾具初始結(jié)構(gòu)參數(shù)的設(shè)計(jì)方法,并對該方法設(shè)計(jì)的測試夾具進(jìn)行實(shí)測驗(yàn)證,得出其能為后續(xù)去嵌入校準(zhǔn)提供很好的初始值。影響FBAR板上測試夾具測試結(jié)果的主要因素為阻抗失配,因此從測試夾具阻抗匹配的角度出發(fā),通過經(jīng)驗(yàn)公式與微帶線計(jì)算工具結(jié)合,求解夾具結(jié)構(gòu)參數(shù)。為確保測試夾具阻抗匹配,提出在ADS中建立TDR瞬態(tài)仿真電路,對微帶線阻抗匹配進(jìn)行研究,給出驗(yàn)證微帶線阻抗匹配、解決微帶線阻抗不匹配的方法;并對設(shè)計(jì)的測試夾具進(jìn)行阻抗匹配復(fù)核。為了驗(yàn)證設(shè)...

【文章頁數(shù)】：80 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖6-2校準(zhǔn)軟件界面

西南科技大學(xué)碩士學(xué)位論文60件的測試數(shù)據(jù)，然后根據(jù)導(dǎo)入的數(shù)據(jù)計(jì)算誤差項(xiàng)。第二種方式為直接導(dǎo)入誤差項(xiàng)，該方式指定包含誤差項(xiàng)的文件，并讀取其中的誤差項(xiàng)。圖6-2中“是否計(jì)算誤差項(xiàng)”選擇框用于實(shí)現(xiàn)選擇不同的誤差項(xiàng)導(dǎo)入方式：當(dāng)選中該選擇框時(shí)，則采用第一種方法，通過導(dǎo)入標(biāo)準(zhǔn)件的測試數(shù)據(jù)計(jì)算....

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