眾所周知,流體中的推進(jìn)器一直是軍事監(jiān)測、航空航天、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域以的重要研究對象,例如小型探測性水生運(yùn)載工具可用于勘探,游泳微型機(jī)器人計劃用于微創(chuàng)手術(shù)和內(nèi)窺鏡檢查,無可移動部件的從而實現(xiàn)反雷達(dá)的隱形水下機(jī)器人或潛艇,等等。近年來,隨著科技水平不斷進(jìn)步,聲表面波(SAW)技術(shù)被研發(fā)出應(yīng)用價值,產(chǎn)生了大量的市場需求,其中大部分都集中在微型傳感器和驅(qū)動器領(lǐng)域。作用于流體驅(qū)動領(lǐng)域時,相比于傳統(tǒng)方式,聲表面波的激發(fā)方式更為簡便高效,控制方式更為穩(wěn)定可靠,且通過微流控(Microfluidics)技術(shù)能與不同性質(zhì)的流體介質(zhì)相互作用、產(chǎn)生不同的驅(qū)動效果。以聲表面波為技術(shù)核心制作的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Microelectro Mechanical Systems),具有明顯的優(yōu)點,例如:結(jié)構(gòu)方面簡單,成本方面低廉,性能方面高速、高頻響應(yīng)、控制方面可用電子控制、可編程,兼容方面與CMOS工藝兼容性強(qiáng)等,因而在流體驅(qū)動領(lǐng)域引起了廣泛關(guān)注和研究。本工作對基于聲表面波驅(qū)動的液體中運(yùn)動的微型推進(jìn)器進(jìn)行了應(yīng)用方面的研究,所研究的器件主要為以LiNb03為基底材料、A1為金屬電極的SAW器件,研究了用作推進(jìn)器的SAW...

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．２振動模式示意圖：橫波（ａ）；縱波（ｂ）

的固體都表現(xiàn)為彈性體，并不存在理想意義上的剛體材料，所以我們可以用彈性波的理論來??解釋聲波的傳輸特性。??體聲波（ＢＡＷ）是在固體中傳播的彈性波。它們分為圖１．１ａ所示的縱波和圖１．１ｂ所示??的橫波。縱波也稱為壓力波，而橫波也稱為剪切波。??］?；?！?Ｚ，／??ｊ￣￣｜?：....

圖１．３沿固體表面?zhèn)鞑サ娜鹄ǖ氖疽鈭D

瑞利波是最早被發(fā)現(xiàn)的在半無限邊界固體表面上傳播的聲表面波，即傳播的襯底可以被??認(rèn)為其厚度相對于波長而言是無窮大的。瑞利波是常規(guī)表面波，其質(zhì)點運(yùn)動在平行于波的傳??播方向且與表面垂直的表面上做復(fù)合逆時針橢圓振動，如圖１．３所示。??Ｒａｙｌｅｉｇｈ?ｗａｖｅ??圖１．３沿固體表面....

圖１．４樂甫波傳播示意圖［９６］??

的命名和瑞利波一樣，也是以發(fā)現(xiàn)者即英國物理學(xué)家Ａ．Ｅ．Ｈ．Ｌｏｖｅ的姓氏命名的６作為一種??特殊的平面剪切波，樂甫波在固體表面的薄層波導(dǎo)中傳播，是一種質(zhì)點運(yùn)動方向和傳播方向??垂直且與表面平行的純切變波，如圖１．４所示［２４］。??樂甫波在結(jié)構(gòu)上與瑞利波不同，其聲波必須與電耦合，....

圖１．５?１＾１１１１３波的兩種模式：非對稱模式（八１１１０（１６）和對稱模式（８１１１０１＾）

第一章緒論??Ｌｏｖｅ?Ｗａｖｅ??圖１．４樂甫波傳播示意圖［９６］??１．２．２．３?斯東利波（Ｓｔｏｎｅｌｅｙｗａｖｅ）??斯東利波是一種存在于固體介質(zhì)交界面上傳播的聲波，它的聲波能量集中在界面上，??位移幅度隨離開界面的距離表現(xiàn)出指數(shù)衰減，因此可以攜帶大量的界面信息，通常用....

本文編號：4025329