<正>借鑒大規(guī)模集成電路技術(shù)的成功經(jīng)驗(yàn),將光子器件微型化、集成化,實(shí)現(xiàn)高性能的光子集成芯片是未來(lái)信息領(lǐng)域發(fā)展的方向。在眾多光學(xué)材料中,鈮酸鋰晶體具備透明窗口寬、本征損耗低、非線性系數(shù)高等優(yōu)異的光學(xué)性能和很高的電光系數(shù),是制作光子集成芯片極好的候選材料。我們利用飛秒激光光刻輔助化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)初步實(shí)現(xiàn)了高品質(zhì)鈮酸鋰光子結(jié)構(gòu)的制備與集成。該領(lǐng)域的持續(xù)發(fā)展將推動(dòng)鈮酸鋰光子器件在人工智能、高速信息處理、精密測(cè)量等領(lǐng)域中的重要應(yīng)用。 

【文章來(lái)源】：量子電子學(xué)報(bào). 2020,37(01)北大核心CSCD

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