發(fā)布時間：2021-09-04 22:31

　　<正>借鑒大規(guī)模集成電路技術的成功經(jīng)驗,將光子器件微型化、集成化,實現(xiàn)高性能的光子集成芯片是未來信息領域發(fā)展的方向。在眾多光學材料中,鈮酸鋰晶體具備透明窗口寬、本征損耗低、非線性系數(shù)高等優(yōu)異的光學性能和很高的電光系數(shù),是制作光子集成芯片極好的候選材料。我們利用飛秒激光光刻輔助化學機械拋光技術初步實現(xiàn)了高品質(zhì)鈮酸鋰光子結構的制備與集成。該領域的持續(xù)發(fā)展將推動鈮酸鋰光子器件在人工智能、高速信息處理、精密測量等領域中的重要應用。 

【文章來源】：量子電子學報. 2020,37(01)北大核心CSCD

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本文編號：3384126