研究了AlGaN半導(dǎo)體p電極的Ni/Au/Ni/Au接觸結(jié)構(gòu)的性能和組織結(jié)構(gòu)。退火前,p電極接觸具有明顯的整流特性。經(jīng)空氣中550℃/3 min一次退火和N。氣氛中750℃/30 s二次退火后,電極呈現(xiàn)出了良好的歐姆接觸。采用掃描電鏡（Scanning Electron Microscope,SEM）、透射電鏡（`ansmission Electron Microscope,TEM）、能量分散譜儀（Energy Dispersive Spectrometer,EDS）和X射線光電子能譜（X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS）觀察了電極退火后金半界面微結(jié)構(gòu)的演化過程。結(jié)果表明,完全退火后的p電極界面及金屬層出現(xiàn)了明顯的互擴散和界面反應(yīng)現(xiàn)象;金-半界面上形成了存在良好共格/半共格關(guān)系的外延結(jié)構(gòu)。初始沉積的金屬電極分層現(xiàn)象消失,形成了單一的電極結(jié)構(gòu)。Ni向外擴散并與0發(fā)生反應(yīng),Au擴散至p-GaN表面。在金半接觸界面上,Ga擴散至金屬電極,造成界面附近的金屬層中富集Au和Ga元素;Au和Ni明顯擴散至半導(dǎo)體表層,在金半界面附近形成了Au、Ga和Ni富集現(xiàn)象... 

【文章來源】：紅外. 2016,37(02)

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻】：
期刊論文
[1]Fabrication and characterization of an AlGaN/PZT detector[J]. 張燕,孫璟蘭,王妮麗,韓莉,劉向陽,李向陽,孟祥建.  半導(dǎo)體學(xué)報. 2010(12)
[2]GaN基512×1元紫外長線列焦平面探測器組件[J]. 張燕,儲開慧,邵秀梅,袁永剛,劉大福,陳新禹,李向陽.  光學(xué)學(xué)報. 2009(12)
[3]高Al組分N-AlxGa1-xN材料的歐姆接觸[J]. 王玲,許金通,陳俊,陳杰,張燕,李向陽.  激光與紅外. 2007(S1)
[4]空間用紫外探測及AlGaN探測器的研究進展[J]. 張燕,龔海梅,白云,陳亮,許金通,湯英文,游達,趙德剛,郭麗偉,李向陽.  激光與紅外. 2006(11)



本文編號：3338262