基于多層高分子液晶聚合物（LCP）技術(shù),采用網(wǎng)絡(luò)綜合法,設(shè)計(jì)了一款超高頻（UHF）低通濾波器。利用三維電磁仿真軟件HFSS,進(jìn)行了高Q值、小體積電容、電感,以及UHF低通濾波器立體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化。采用50μm厚度雙面覆銅的LCP基板以及25μm厚度的粘合板,結(jié)合銅漿垂直互連工藝,進(jìn)行了低通濾波器多層結(jié)構(gòu)加工。測(cè)試結(jié)果表明:該低通濾波器截止頻率為1 GHz,在0～1 GHz的通帶范圍內(nèi)回波損耗在-10 dB以下,插損最大為-2.6 dB,在2 GHz處,帶外抑制達(dá)到-38 dB,器件尺寸為10.1 mm×3.5 mm×0.197 mm。該研究驗(yàn)證了多層LCP工藝在微波頻段內(nèi)具有較高的集成度。 

【文章來源】：微波學(xué)報(bào). 2020,36(05)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

多層LCP的壓合流程

根據(jù)濾波器的設(shè)計(jì)方法,結(jié)合指標(biāo)要求,利用網(wǎng)絡(luò)綜合法在ADS中設(shè)計(jì)了一款5階切比雪夫低通濾波器。如圖2所示,低通濾波器電路元件值分別為C1=C3=3 pF,C2=6.4 pF,L1=L2=13.5 nH。LCP基板采用廣州生益科技有限公司提供的SF701,其中介電常數(shù)2.9,損耗角正切0.0025,基板厚度0.05 mm,銅厚0.018 mm。粘合層型號(hào)為SF206B,其中介電常數(shù)2.52,損耗角正切0.003,厚度0.025 mm�；诙鄬覮CP工藝規(guī)范,在HFSS中構(gòu)建電容電感三維立體模型結(jié)構(gòu)并仿真。

根據(jù)公式(1)和(2)可得到電容的有效值C和品質(zhì)因數(shù)Q值,如圖4所示,電容自諧振頻率在2.75 GHz,在0～1 GHz頻段范圍內(nèi),電容值穩(wěn)定在6.4 pF。由Q值曲線可以看出,Q值隨著頻率的增加而增大,在1.2 GHz處出現(xiàn)最大值,為119。電感采用八邊形螺旋電感,如圖5(a)所示,單邊邊長(zhǎng)為1 mm,線寬0.1 mm,螺旋層數(shù)為3層,電感金屬線圈分布在M1、M2、M3金屬層,如圖5(b),電感線圈占用面積約為4.8 mm×4.8 mm。同樣采取π型等效電路,電感有效值L和品質(zhì)因數(shù)Q值為:

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3293226