光電探測器作為信息生活中傳遞信息的主要載體,是信息生活中不可分割的重要器件。在光通信領(lǐng)域、工業(yè)控制領(lǐng)域、軍事領(lǐng)域都有著廣泛的用途,是新興的物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)等技術(shù)的物理層基礎(chǔ)。最近二維材料光電探測器吸引了越來越多的關(guān)注,但是二維材料光電探測器,由于其超薄的厚度,一般吸收率比較低。而獲取更高、更快、更寬的光電探測器成為大家的研究目標(biāo),本文主要的研究對象是如何提升光電探測器的性能。為了提高光電探測器的響應(yīng)速度和響應(yīng)度,其一通過對器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計,制作了一種垂直超短可控溝道,器件結(jié)構(gòu)及其頂電極所形成的金屬等離激元,為高響應(yīng)度和快速光電探測器提供了一種思路;其二通過氧化石墨烯量子點修飾二硫化鎢,利用量子點的光柵效應(yīng)提高二硫化鎢基光電探測器的響應(yīng)度。1、垂直微納結(jié)構(gòu)的設(shè)計、制備及其光電應(yīng)用我們設(shè)計了一種“金屬-絕緣層-金屬”的垂直短溝道結(jié)構(gòu),其溝道長度由絕緣層厚度決定,利用原子層沉積技術(shù)可以把溝道控制得很短。短溝道可以保持住光電探測器件的光響應(yīng)速度,而且由于頂電極是微納小孔金屬,可以產(chǎn)生等離激元增強光吸收,從而提高光電流。由于石墨烯自身吸光率低、零帶隙的原因,導(dǎo)致光響度很低。為了解決這一個問題... 

【文章來源】：湘潭大學(xué)湖南省

【文章頁數(shù)】：56 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 引言
    1.2 光電探測器的工作機理和主要性能指標(biāo)
        1.2.1 光電探測器主要的工作機理
        1.2.2 光電探測器的主要性能指標(biāo)
    1.3 選題意義和研究內(nèi)容
第2章 垂直微納結(jié)構(gòu)的設(shè)計、制備及其光電應(yīng)用
    2.1 研究背景
    2.2 垂直短溝道器件結(jié)構(gòu)制作及表征
        2.2.1 PS小球自組裝工藝
        2.2.2 器件結(jié)構(gòu)制作及表征
    2.3 垂直微納結(jié)構(gòu)光電探測應(yīng)用
    2.4 小結(jié)
第3章 氧化石墨烯量子點-二硫化鎢光電探測器
    3.1 研究背景
    3.2 材料和器件的制作及表征
2材料制作及表征">        3.2.1 WS₂材料制作及表征
        3.2.2 氧化石墨烯量子點的表征
        3.2.3 器件制作及表征
    3.3 光電測試和分析
    3.4 小結(jié)
第4章 結(jié)論與展望
參考文獻
致謝
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文



本文編號：3157082