作為新興的無損探測(cè)技術(shù),太赫茲探測(cè)廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)成像、安全檢查、品質(zhì)探測(cè)等領(lǐng)域,精準(zhǔn)、便攜式太赫茲探測(cè)器的研究與設(shè)計(jì)成為當(dāng)前無損探測(cè)領(lǐng)域的研究方向,更是太赫茲技術(shù)應(yīng)用與研究的熱點(diǎn),對(duì)現(xiàn)代科學(xué)、國(guó)民經(jīng)濟(jì)、國(guó)防建設(shè)具有重大意義。傳統(tǒng)光學(xué)方法構(gòu)建的太赫茲探測(cè)器體積龐大,成本高昂,種種局限使其很難推廣普及在應(yīng)用市場(chǎng)。然而,目前CMOS器件的特征尺寸已進(jìn)入10nm,晶體管截止頻率f_t突破了500GHz,以微電子學(xué)方法實(shí)現(xiàn)太赫茲單片集成電路（TMIC）已從工藝硬件上獲得了可行性。相比光學(xué)方法,以CMOS工藝實(shí)現(xiàn)的探測(cè)系統(tǒng)體積小、易于集成、對(duì)環(huán)境溫度要求低,在太赫茲應(yīng)用中具有較大的優(yōu)勢(shì)。本文針對(duì)傳統(tǒng)太赫茲探測(cè)器體積龐大、探測(cè)頻段單一的問題,基于CMOS工藝,提出了多環(huán)天線嵌套的太赫茲探測(cè)電路結(jié)構(gòu),并對(duì)多種太赫茲探測(cè)器電路進(jìn)行了分析與設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了多頻段探測(cè)的功能,為太赫茲固態(tài)電路小型化、多頻段探測(cè)技術(shù)的發(fā)展提供了關(guān)鍵理論與技術(shù)支持,也將為其在無損探測(cè)領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用開辟?gòu)V闊前景。具體研究?jī)?nèi)容與結(jié)果歸納如下:（1）研究了基于場(chǎng)效應(yīng)管的太赫茲探測(cè)原理,對(duì)共源結(jié)構(gòu)探測(cè)電路和共柵差分結(jié)... 

【文章來源】：江蘇大學(xué)江蘇省

【文章頁數(shù)】：67 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

工藝剖面圖

bVoutV(c)圖 3.3 探測(cè)器電路模型圖Fig. 3.3 The circuit model of detector circuit槽天線連接?xùn)艠O的共源探測(cè)器（Detector2）電路結(jié)共源探測(cè)器（Detector3）電路結(jié)構(gòu)，區(qū)別是在晶的耦合。圖 3.3(c)是單環(huán)天線連接晶體管的源極。在 300GHz 的時(shí)候，共源探測(cè)電路的輸入阻抗為

圖 3.5 圓形開槽天線Fig. 3.5 Circular slot antenna寸如表 3.2 所示：表 3.2 圓形開槽天線尺寸Tab. 3.2 Size of the circular slot antenna值（μm） 名稱 值（μm） 名稱63 W1 4 R116 W2 30 R228.8 W3 30 R360 W5 7.715槽天線 S11 如圖 3.6 所示：

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于太赫茲光譜和APSO-SVM的轉(zhuǎn)基因棉籽識(shí)別方法[J]. 潘學(xué)文,尹向東,趙永紅.  電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào). 2017(03)
[2]太赫茲光譜技術(shù)在食品質(zhì)量安全檢測(cè)中的應(yīng)用研究進(jìn)展[J]. 李鵬鵬,張?jiān)?葛宏義,廉飛宇.  食品工業(yè)科技. 2017(03)
[3]太赫茲技術(shù)在反恐防爆領(lǐng)域的應(yīng)用探討[J]. 涂昊,武帥.  警察技術(shù). 2016(03)
[4]太赫茲技術(shù)用于精準(zhǔn)農(nóng)業(yè)污染檢測(cè)探索研究（英文）[J]. 李斌,陳立平.  紅外與激光工程. 2016(04)
[5]太赫茲技術(shù)在軍事和安全領(lǐng)域的應(yīng)用[J]. 趙國(guó)忠,申彥春,劉影.  電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào). 2015(08)
[6]基于銦鎵砷材料的新型太赫茲/亞毫米波探測(cè)器研究[J]. 童勁超,黃敬國(guó),黃志明.  紅外與激光工程. 2014(10)
[7]基于THz技術(shù)的農(nóng)產(chǎn)品品質(zhì)無損檢測(cè)研究[J]. 蔣玉英,葛宏義,廉飛宇,張?jiān)?夏善紅.  光譜學(xué)與光譜分析. 2014(08)
[8]220 GHz分諧波混頻器研究[J]. 張波,陳哲,樊勇.  電子科技大學(xué)學(xué)報(bào). 2012(03)
[9]基于太赫茲光譜技術(shù)的爆炸物類危險(xiǎn)品檢測(cè)[J]. 盧樹華.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2012(04)
[10]太赫茲成像技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究[J]. 張振偉,崔偉麗,張巖,張存林.  紅外與毫米波學(xué)報(bào). 2006(03)

碩士論文
[1]高溫超導(dǎo)太赫茲源輻射分布與室溫光電顯微鏡的研究[D]. 朱強(qiáng).南京大學(xué) 2016



本文編號(hào)：2921355