本文關(guān)鍵詞：浸沒式光刻機(jī)超純水處理系統(tǒng)的研制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：隨著信息技術(shù)的繼續(xù)發(fā)展作為其基礎(chǔ)的集成電路在國家制造產(chǎn)業(yè)中的地位越來越高。光刻技術(shù)的發(fā)展水平對于集成電路的研發(fā)有著非常重要的的影響作用。光刻技術(shù)是利用感光膠的光化學(xué)反應(yīng)特點(diǎn)將設(shè)計(jì)好的電路圖形復(fù)制到的硅片上,它是集成電路制造工業(yè)中一項(xiàng)極為重要的技術(shù)。浸沒式光刻又稱濕式光刻,它在傳統(tǒng)干式光刻技術(shù)的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn),即在最后一片投影物鏡的下表面和硅片上的光刻膠之間填充一層能提高整個光路的折射率的浸沒液體。在集成電路制造中,由于芯片的特征尺寸不斷縮小,使得浸沒式光刻技術(shù)對生產(chǎn)過程使用的超純水的水質(zhì)要求也愈來愈高。浸沒液體中的離子、溶解氧、TOC和顆粒物的存在會降低集成電路的良品率,因此設(shè)計(jì)研發(fā)符合浸沒式光刻技術(shù)要求的超純水處理系統(tǒng)具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。本文以研制產(chǎn)水達(dá)到浸沒式光刻的水質(zhì)指標(biāo)要求的且具有一定控制功能的超純水處理系統(tǒng)為研究對象,主要的工作包括以下內(nèi)容。(1)分析浸沒式光刻技術(shù)對超純水處理的水質(zhì)指標(biāo)要求和系統(tǒng)的功能需求,據(jù)此確立超純水處理系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案。設(shè)計(jì)了系統(tǒng)的工藝原理圖,針對每項(xiàng)水質(zhì)指標(biāo)要求確定了相應(yīng)的工藝部件的選型。(2)根據(jù)系統(tǒng)的流量壓力特性對動力供給系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)與驗(yàn)證,并最終確定了離心泵的型號與數(shù)量。依據(jù)系統(tǒng)對水質(zhì)檢測和對流體動力學(xué)參數(shù)測量的要求,完成對各類傳感器的選型。最終將所有部件根據(jù)其功能特性分為傳感器模塊、工藝模塊和手動操作模塊,按照模塊化的思路設(shè)計(jì)并搭建好整個系統(tǒng)。(3)設(shè)計(jì)了超純水處理系統(tǒng)的控制系統(tǒng),以西門子PLC S7-1200為下位機(jī)并以研華工控機(jī)為上位機(jī),下位機(jī)完對測量儀表的數(shù)據(jù)采集和對執(zhí)行器的操作,設(shè)計(jì)了上位監(jiān)控軟件的HMI,使其具有實(shí)時(shí)監(jiān)控、報(bào)警信息提示和數(shù)據(jù)存儲等功能。(4)在Matlab/Simulink上利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對搭建好的超純水處理系統(tǒng)的水質(zhì)模型進(jìn)行建模,根據(jù)誤差分析選擇最佳的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),模型實(shí)現(xiàn)了對超純水處理系統(tǒng)的產(chǎn)水TOC的預(yù)測。利用OPC技術(shù)實(shí)現(xiàn)了Matlab/Simulink軟件與監(jiān)控軟件組態(tài)王的通訊,進(jìn)而可把Simulink模塊的預(yù)測值傳送給組態(tài)界面的預(yù)警信息。
【關(guān)鍵詞】：浸沒式光刻 超純水處理 PLC 人機(jī)界面 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN305.7
【目錄】：

• 致謝4-5
• 摘要5-6
• ABSTRACT6-11
• 第1章 緒論11-22
• 1.1 超純水的應(yīng)用背景11-16
• 1.1.1 集成電路產(chǎn)業(yè)與與光刻技術(shù)11-13
• 1.1.2 浸沒式光刻技術(shù)在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用13-15
• 1.1.3 浸沒式光刻技術(shù)對水質(zhì)的要求15-16
• 1.2 超純水處理系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀16-20
• 1.3 課題研究意義及研究內(nèi)容20-21
• 1.3.1 研究意義20-21
• 1.3.2 研究內(nèi)容21
• 1.4 本章小結(jié)21-22
• 第2章 超純水處理系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案22-26
• 2.1 超純水處理系統(tǒng)的需求分析22-23
• 2.1.1 超純水處理系統(tǒng)的水質(zhì)設(shè)計(jì)指標(biāo)22
• 2.1.2 超純水處理系統(tǒng)的功能需求22-23
• 2.2 超純水處理系統(tǒng)的工藝設(shè)計(jì)方案23
• 2.3 超純水處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案23-24
• 2.4 超純水處理系統(tǒng)的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案24-25
• 2.5 本章小結(jié)25-26
• 第3章 超純水系統(tǒng)的工藝與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)26-53
• 3.1 工藝流程設(shè)計(jì)26-28
• 3.2 工藝部件選型設(shè)計(jì)28-33
• 3.2.1 去除溶氧的工藝設(shè)計(jì)28-30
• 3.2.2 去除離子的工藝設(shè)計(jì)30-31
• 3.2.3 去除TOC的工藝設(shè)計(jì)31-32
• 3.2.4 去除顆粒物的工藝設(shè)計(jì)32-33
• 3.3 超純水離心泵的選型與動力系統(tǒng)設(shè)計(jì)33-41
• 3.3.1 超純水離心泵的選型33-35
• 3.3.2 雙泵串聯(lián)供液設(shè)計(jì)及其工況分析35-41
• 3.4 水質(zhì)儀表與傳感器的選型設(shè)計(jì)41-49
• 3.4.1 水質(zhì)儀表41-44
• 3.4.2 傳感器44-46
• 3.4.3 管閥件與接頭46-49
• 3.5 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)49-52
• 3.6 本章小結(jié)52-53
• 第4章 超純水系統(tǒng)的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)53-89
• 4.1 PLC控制的實(shí)現(xiàn)53-59
• 4.1.1 PLC的選型53-56
• 4.1.2 PLC程序設(shè)計(jì)56-59
• 4.2 電控柜設(shè)計(jì)59-69
• 4.2.1 電路設(shè)計(jì)59-68
• 4.2.2 電控柜內(nèi)部與外部設(shè)計(jì)68-69
• 4.3 人機(jī)界面的實(shí)現(xiàn)69-88
• 4.3.1 組態(tài)主界面70
• 4.3.2 趨勢曲線70-72
• 4.3.3 數(shù)據(jù)存儲72-77
• 4.3.4 實(shí)時(shí)報(bào)警77-79
• 4.3.5 歷史報(bào)警79-83
• 4.3.6 數(shù)據(jù)查詢83-86
• 4.3.7 數(shù)據(jù)報(bào)表86-88
• 4.4 本章小結(jié)88-89
• 第5章 超純水處理系統(tǒng)的人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型構(gòu)建89-109
• 5.1 水處理系統(tǒng)建模的困難89
• 5.2 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及其在水質(zhì)檢測中的應(yīng)用89-93
• 5.2.1 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)介紹89-92
• 5.2.2 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)在水質(zhì)模擬應(yīng)用中的優(yōu)勢92-93
• 5.3 基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的TOC測量模型實(shí)現(xiàn)93-106
• 5.3.1 基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的TOC測量模型構(gòu)建94-97
• 5.3.2 樣本數(shù)據(jù)的預(yù)處理97-101
• 5.3.3 仿真結(jié)果與分析101-106
• 5.4 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測模型用于系統(tǒng)出水預(yù)警106-108
• 5.4.1 OPC接口技術(shù)實(shí)現(xiàn)組態(tài)王與Matlab通訊107-108
• 5.5 本章小結(jié)108-109
• 第6章 總結(jié)和展望109-111
• 6.1 研究總結(jié)109-110
• 6.2 工作展望110-111
• 參考文獻(xiàn)111-113

【相似文獻(xiàn)】

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  本文關(guān)鍵詞：浸沒式光刻機(jī)超純水處理系統(tǒng)的研制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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本文編號：283483