【摘要】：為了減小加工誤差對高頻濾波器性能的影響,設(shè)計(jì)并加工了一款基于新型諧振柱的高頻波導(dǎo)濾波器。首先設(shè)計(jì)了一個(gè)兩腔波導(dǎo)濾波器,然后通過給腔內(nèi)的方形脊兩側(cè)加載梯形凸臺完成了濾波器的設(shè)計(jì)。運(yùn)用Ansoft HFSS軟件對濾波器進(jìn)行了模型仿真和參數(shù)優(yōu)化。仿真優(yōu)化結(jié)果顯示,濾波器中心頻率為104 GHz,帶寬約為3 GHz,插入損耗小于0.1 dB,回波損耗大于25 dB,且梯形凸臺的加載有助于增強(qiáng)腔間耦合,將加工誤差影響減小為原來的一半。最后用微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)工藝完成了濾波器的加工并對其進(jìn)行了測試,測試結(jié)果與仿真結(jié)果大致吻合,為高頻濾波器的設(shè)計(jì)和加工提供了參考。

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