【摘要】：為了滿足晶圓制造Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)的全局優(yōu)化要求,提出基于復(fù)合規(guī)則的Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)多目標(biāo)調(diào)度方法。充分考慮各運(yùn)輸設(shè)備之間的約束關(guān)系,建立了Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)的多目標(biāo)調(diào)度模型。提出基于遺傳規(guī)劃的復(fù)合規(guī)則生成方法,該方法將晶圓工件的屬性參數(shù)與四種基本運(yùn)算符號按照二叉樹的結(jié)構(gòu)進(jìn)行編碼,再通過選擇、交叉、變異以及基于d-best策略的λ-Interchange局部搜索方法,尋找具有最佳適應(yīng)度的復(fù)合調(diào)度規(guī)則。為了對大量個(gè)體進(jìn)行快速評價(jià),設(shè)計(jì)了基于物料運(yùn)輸表的適應(yīng)度值估算方法。仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,與文獻(xiàn)中的Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度方法相比,基于所提算法生成的復(fù)合調(diào)度規(guī)則能夠?qū)ぜ钠骄庸ぶ芷凇⑵骄徇\(yùn)時(shí)間、平均交貨期滿足率等多個(gè)目標(biāo)進(jìn)行綜合優(yōu)化,同時(shí)表現(xiàn)出較好的魯棒性。
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51275307) 高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專項(xiàng)科研基金資助項(xiàng)目(20120073110036)~~
【分類號】：TN305

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本文編號：2548295