【摘要】：文章進(jìn)行了高重頻皮秒激光輻照多晶硅的損傷實(shí)驗(yàn)研究,分析了多晶硅材料激光輻照區(qū)域的損傷形貌,探究了多晶硅的多脈沖損傷損傷機(jī)制。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:多晶硅的損傷形貌主要分為熱熔區(qū)、熱影響區(qū)及激光無作用區(qū)三個(gè)區(qū)域。多晶硅的多脈沖損傷機(jī)制主要是熱積累和微缺陷積累。
[Abstract]:The damage experiment of polysilicon irradiated by high-frequency picosecond laser is carried out. The damage morphology of polysilicon in laser-irradiated region is analyzed and the mechanism of multi-pulse damage of polysilicon is discussed. The experimental results show that the damage morphology of polysilicon is mainly divided into three regions: hot-melt zone, heat-affected zone and laser-free zone. The multi-pulse damage mechanism of polysilicon is mainly thermal accumulation and micro-defect accumulation.
【作者單位】： 長春理工大學(xué);
【分類號(hào)】：TN249;TN304.12

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 吳慎將;蘇俊宏;施衛(wèi);王馨梅;徐均琪;;外加偏置電場對類金剛石薄膜激光損傷形貌影響研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào);2012年01期

2 O.Arnon;尚鐸;;多層膜中電場的分布和激光損傷的減小[J];激光與紅外;1981年09期

3 鄧和,李成富;若干玻璃在不同波長上的激光損傷[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1983年08期

4 大衛(wèi);材料激光損傷測試面向全國[J];中國激光;1985年09期

5 孫金壇,陳軍寧;硅片背面激光損傷的吸雜效果[J];中國激光;1993年03期

6 李景薇;付秀華;;抗激光損傷薄膜的研究[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年01期

7 晏良宏;呂海兵;王海軍;趙松楠;袁曉東;苗心向;鄭萬國;;化學(xué)膜激光損傷行為[J];強(qiáng)激光與粒子束;2009年11期

8 樹人;園園;;激光損傷[J];激光與紅外;1977年08期

9 A.Rosencwaig;尚鐸;;薄膜激光損傷的光聲研究[J];激光與紅外;1981年09期

10 孫e，

本文編號(hào)：2458733