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SiC電力電子器件研究現(xiàn)狀及新進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2018-10-31 14:11
【摘要】:由于硅材料本身的限制,傳統(tǒng)硅電力電子器件性能已經(jīng)接近其極限,碳化硅(SiC)器件的高功率、高效率、耐高溫、抗輻照等優(yōu)勢(shì)逐漸突顯,成為電力電子器件一個(gè)新的發(fā)展方向。綜述了SiC材料、SiC電力電子器件、SiC模塊及關(guān)鍵工藝的研究現(xiàn)狀,重點(diǎn)從材料、器件結(jié)構(gòu)、制備工藝等方面闡述了SiC二極管、金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)、結(jié)晶型場(chǎng)效應(yīng)晶體管(JFET)、雙極結(jié)型晶體管(BJT)、絕緣柵雙極晶體管(IGBT)及模塊的研究進(jìn)展。概述了SiC材料、SiC電力電子器件及模塊的商品化情況,最后對(duì)SiC材料及器件的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望。
[Abstract]:Because of the limitation of silicon material, the performance of traditional silicon power electronic devices is close to its limit. The advantages of silicon carbide (SiC) devices such as high power, high efficiency, high temperature resistance, radiation resistance, etc. It has become a new development direction of power electronic devices. The research status of SiC materials, SiC power electronic devices, SiC modules and key processes are reviewed. The SiC diodes and metal oxide semiconductor field effect transistors (MOSFET),) are described in detail from the aspects of material, device structure and fabrication process. Progress in Research on (IGBT) and Modules of (BJT), Insulated Gate Bipolar transistors with crystallized Field effect transistors (JFET), bipolar transistors and bipolar transistors. The commercialization of SiC materials, SiC power electronic devices and modules is summarized. Finally, the development trend of SiC materials and devices is prospected.
【作者單位】: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;
【分類號(hào)】:TN303

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本文編號(hào):2302477

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