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小尺寸柵極HEMT器件結(jié)溫測(cè)量

發(fā)布時(shí)間:2018-10-24 18:00
【摘要】:用現(xiàn)有的紅外法測(cè)量的GaN基HEMT器件結(jié)溫,比實(shí)際最高溫度點(diǎn)的溫度低。而用喇曼法測(cè)量結(jié)溫對(duì)設(shè)備要求高且不易于操作。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)對(duì)GaN基HEMT器件結(jié)溫的測(cè)量存在一定困難的問題,設(shè)計(jì)了一款HEMT器件匹配電路。利用紅外熱像儀測(cè)量HEMT器件的結(jié)溫升高,并結(jié)合物理數(shù)值模擬仿真,提出一種小尺寸柵極結(jié)溫升高測(cè)量方法。結(jié)果表明,建立正確的仿真模型,可以得到不同柵極長(zhǎng)度范圍內(nèi)的溫度。通過這種方法可以測(cè)量出更接近實(shí)際的結(jié)溫,為之后研究加載功率與殼溫對(duì)Al GaN/GaN HEMT器件熱阻的影響奠定了理論基礎(chǔ),并且為實(shí)際工作中熱特性研究提供了參考依據(jù)。
[Abstract]:The junction temperature of GaN based HEMT device measured by the existing infrared method is lower than that of the actual maximum temperature point. However, the measurement of junction temperature by Raman method requires high equipment and is difficult to operate. A matching circuit for GaN based HEMT devices is designed in view of the difficulties of the existing techniques in measuring the junction temperature of HEMT devices. An infrared thermal imager is used to measure the junction temperature rise of HEMT devices. Combined with physical numerical simulation, a small scale gate junction temperature rise measurement method is proposed. The results show that the temperature in the range of grid length can be obtained by establishing the correct simulation model. This method can be used to measure the junction temperature which is closer to the actual value, which lays a theoretical foundation for the study of the influence of loading power and shell temperature on the thermal resistance of Al GaN/GaN HEMT devices, and provides a reference basis for the study of the thermal characteristics of Al GaN/GaN HEMT devices in practice.
【作者單位】: 中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院;北京工業(yè)大學(xué)微電子學(xué)院;
【基金】:核心電子器件評(píng)價(jià)和檢測(cè)技術(shù)資助項(xiàng)目(2012ZX01022002)
【分類號(hào)】:TN386

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本文編號(hào):2292130

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