【摘要】：紅外非制冷熱探測器的制備,通常在CMOS讀出電路上制作懸空結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。傳感器將吸收的熱量轉(zhuǎn)化為電信號由檢測電路檢出,但該結(jié)構(gòu)吸收效率偏低。本研究提出了一種基于光柵陷光結(jié)構(gòu)激發(fā)表面等離子體諧振吸收的紅外探測器結(jié)構(gòu)�；陔姶艌隼碚摲治隽私Y(jié)構(gòu)參數(shù)對紅外光學(xué)吸收的影響,利用數(shù)值模擬的方法,研究了金屬-介質(zhì)-金屬三明治結(jié)構(gòu)紅外探測器的吸收效率,并通過結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化使吸收結(jié)構(gòu)對特定紅外波段的吸收率達(dá)到95%以上,在整個波長范圍內(nèi)平均吸收效率達(dá)32.6%。
[Abstract]:The fabrication of infrared uncooled thermal detector is usually realized by making suspension structure on CMOS readout circuit. The sensor converts the absorbed heat into electric signals detected by the detection circuit, but the absorption efficiency of the structure is low. In this paper, a structure of infrared detector based on raster trapping structure excited by surface plasma resonant absorption is proposed. Based on the theory of electromagnetic field, the influence of structure parameters on infrared optical absorption is analyzed, and the absorption efficiency of metal dielectric metal sandwich structure infrared detector is studied by numerical simulation. By optimizing the structure parameters, the absorptivity of the absorption structure to the specific infrared band is over 95%, and the average absorption efficiency is 32.6% in the whole wavelength range.
【作者單位】： 渤海大學(xué)新能源學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11304020)
【分類號】：TN215

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本文編號：2269317