本文選題：測量 + 線陣CCD�。� 參考：《光學(xué)學(xué)報》2016年02期

【摘要】：針對傳統(tǒng)線陣CCD測量方法僅適用于靜態(tài)圖像采集或低速位移測量的問題,在分析CCD動態(tài)測量過程中動態(tài)誤差產(chǎn)生原因的基礎(chǔ)上,提出一種驅(qū)動時序互相推延的多個CCD同步測量方法。該方法實現(xiàn)了在一個積分周期內(nèi)的等時間多個位移值測量,等效于減少單個CCD積分時間,從而提高線陣CCD的動態(tài)測量范圍。設(shè)計了一個由5個線陣CCD沿圓周均布的,時序推延的角位移傳感器,并完成相應(yīng)實驗系統(tǒng)的搭建。通過與高精度圓光柵在不同速度下動態(tài)誤差的檢定,得出隨著運動速度的提高,時序推延測量方法的動態(tài)特性要明顯優(yōu)于傳統(tǒng)測量方法。結(jié)果表明,時序推延測量法在30 r/min時與傳統(tǒng)方法 10 r/min的動態(tài)誤差水平相當(dāng),驗證了時序推延測量方法對提高CCD動態(tài)特性的可行性。
[Abstract]:Aiming at the problem that the traditional linear CCD measurement method is only suitable for static image acquisition or low speed displacement measurement, the causes of dynamic errors in CCD dynamic measurement are analyzed. In this paper, a synchronous measurement method of multiple CCD is presented, which drives time series to delay each other. This method realizes the measurement of multiple displacement values at equal time in one integral period, which is equivalent to reducing the integral time of a single CCD, thus increasing the dynamic measurement range of linear CCD. An angular displacement sensor with five linear CCD arrays distributed evenly along the circumference is designed and the corresponding experimental system is built. By verifying the dynamic error of circular grating with high accuracy at different velocities, it is concluded that the dynamic characteristics of the time-series delay measurement method are obviously superior to the traditional measurement method with the increase of the moving velocity. The results show that the dynamic error level of the time series delay measurement method at 30 r/min is equal to that of the traditional method at 10 r/min. The feasibility of the timing delay measurement method to improve the dynamic characteristics of the CCD is verified.
【作者單位】： 重慶理工大學(xué)機械檢測技術(shù)與裝備教育部工程研究中心時柵傳感及先進檢測技術(shù)重慶市重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51505053,51505052) 國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(2013YQ220893) 重慶市基礎(chǔ)科學(xué)與前沿技術(shù)研究專項項目(cstc2015jcyj A1467)
【分類號】：TN386.5

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本文編號：2059700