本文選題：缺陷檢測 + 相位恢復(fù)��； 參考：《南京理工大學(xué)》2017年碩士論文

【摘要】：極紫外(EUV)(λ=13.5nm)光刻技術(shù)是世界范圍內(nèi)最被看好的實現(xiàn)22nm最小刻線的下一代光刻技術(shù)。其光刻掩膜版在制作過程中參入納米量級的灰塵污染、雜質(zhì)顆粒,引入的鼓包、凹坑出現(xiàn)在基底表面或埋藏在多層膜內(nèi)部或掩模表面,都會造成光刻樣品出現(xiàn)嚴(yán)重的缺陷。光學(xué)非干涉相位恢復(fù)檢測法完全基于光強(qiáng)信息測量,系統(tǒng)光路結(jié)構(gòu)簡單,降低儀器分辨率要求而不丟失相關(guān)信息,是實現(xiàn)極紫外掩膜缺陷檢測的重要途徑。本文在現(xiàn)有非干涉相位恢復(fù)理論的基礎(chǔ)上,針對缺陷相位信息的恢復(fù),展開基于迭代算法缺陷檢測方法研究。在傳統(tǒng)多波長迭代算法的基礎(chǔ)上,引入角譜傳輸理論和梯度加速函數(shù),提出一種快速收斂的相位恢復(fù)迭代算法——多波長梯度加速迭代算法,并采用matlab編寫了算法程序�；谒岫嗖ㄩL梯度加速迭代算法進(jìn)行仿真模擬,分別對相位分布在[-0.84,0]的高斯型相位面以及[-π,0]的"lena"相位面進(jìn)行恢復(fù),表征復(fù)原精度的相對均方根值均達(dá)到10-3數(shù)量級,驗證了該方法的可行性。并與傳統(tǒng)多波長迭代恢復(fù)算法進(jìn)行對比驗證,該加速算法相較于傳統(tǒng)算法在收斂速度上提高了 2倍以上且具有更高的復(fù)原精度。最后對算法中波長數(shù)目、波段范圍、傳輸距離、恢復(fù)相位區(qū)間參數(shù)對算法性能影響進(jìn)行討論。搭建了多波長梯度加速迭代算法實驗裝置,采用帶通濾光片與白光光源形成七種不同波長入射光。對入射光輸入面波前相位面信息進(jìn)行恢復(fù),并將輸出面光強(qiáng)信息的算法計算值與測量值進(jìn)行比較得到振幅誤差E=0.078%,說明該算法的正確性;分別對分辨率板一定寬度的三條對線、字母e裝片兩種透射性元件的相位面進(jìn)行恢復(fù)計算寬度、高度信息,得到的實驗結(jié)果符合預(yù)期。
[Abstract]:Ultraviolet (位 ~ (13. 5) nm) photolithography is the most promising next generation lithography technology to realize the minimum line of 22nm in the world. In the process of making the lithography mask plate, dust pollution of nanometer magnitude, impurity particles, incoming bulge, pits appearing on the substrate surface or burying inside the multilayer film or mask surface will cause serious defects in the lithography sample. The optical non-interference phase recovery detection method is based on the measurement of light intensity information. The optical system is simple in structure and reduces the resolution requirement of the instrument without losing relevant information. It is an important way to realize the detection of the defect in the extreme ultraviolet mask. In this paper, based on the existing non-interference phase recovery theory and the restoration of defect phase information, the research of defect detection method based on iterative algorithm is carried out. Based on the traditional multi-wavelength iterative algorithm, the angle spectrum transmission theory and gradient acceleration function are introduced, and a fast convergent phase recovery iterative algorithm named multi-wavelength gradient accelerated iterative algorithm is proposed. The algorithm is programmed by matlab. Based on the proposed iterative algorithm of multi-wavelength gradient acceleration, the Gao Si type phase surface with phase distribution in [-0.84 0] and the "lena" phase surface with [- 蟺 0] are respectively restored. The relative root mean square (RMS) values of the restoration accuracy are in the order of 10 ~ (-3). The feasibility of the method is verified. Compared with the traditional multi-wavelength iterative recovery algorithm, the proposed algorithm improves the convergence speed by more than 2 times and has a higher recovery accuracy than that of the traditional algorithm. Finally, the effects of wavelength number, band range, transmission distance and recovery phase range on the performance of the algorithm are discussed. A multi-wavelength gradient accelerated iterative algorithm was set up, and seven different wavelengths of incident light were formed by bandpass filter and white light source. The phase surface information of the input surface wave front of the incident light is restored, and the calculated value of the light intensity information of the output surface is compared with the measured value, and the amplitude error E _ (0.078) is obtained, which shows the correctness of the algorithm. The phase surface of the two transmissible elements is restored to calculate the width and height, and the experimental results are in line with the expectation.
【學(xué)位授予單位】：南京理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TN23

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本文編號：1915893