基于激光錯(cuò)位散斑干涉的無損檢測技術(shù)研究
本文選題:無損檢測 + 錯(cuò)位散斑干涉; 參考:《合肥工業(yè)大學(xué)》2016年碩士論文
【摘要】:無損檢測技術(shù)在航空航天、機(jī)械、材料及先進(jìn)制造中的產(chǎn)品部件的機(jī)械力學(xué)性能(變形、缺陷等)的監(jiān)測和設(shè)備在役檢查中發(fā)揮著重要作用。激光錯(cuò)位散斑干涉技術(shù)(Shearography)因其具有全場、非接觸、高精度和高靈敏度的優(yōu)勢,從而成為無損檢測技術(shù)中一種常用的高效方法,目前基于激光錯(cuò)位散斑干涉的無損檢測技術(shù)的基本測量理論與實(shí)現(xiàn)方法已得到較多研究,但是一些關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用潛力還有待于進(jìn)一步分析研究。本文針對激光錯(cuò)位散斑干涉技術(shù)中的相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)問題進(jìn)行研究,具體的研究工作主要包括:(1)詳細(xì)介紹了激光錯(cuò)位散斑干涉的無損檢測技術(shù)原理,并對其關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了理論分析與實(shí)驗(yàn)研究。(2)對空間載波相移技術(shù)中關(guān)鍵參數(shù)的確定進(jìn)行了理論分析以及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。詳細(xì)討論了光路中光闌類型、光闌尺寸、CCD的空間分辨率、錯(cuò)位量、錯(cuò)位方向等參數(shù)與錯(cuò)位散斑干涉技術(shù)應(yīng)用的關(guān)系,確定了它們的選取類型和取值范圍。(3)討論了使用大錯(cuò)位量錯(cuò)位散斑干涉測量和位移導(dǎo)數(shù)積分直接測量物體的形變位移的方法。對以上討論的方法均進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,并對導(dǎo)數(shù)積分方法與電子散斑干涉測量位移方法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)對比分析。(4)將錯(cuò)位散斑干涉技術(shù)應(yīng)用到了SU-8光刻膠的應(yīng)變分布檢測中。設(shè)計(jì)激光錯(cuò)位散斑干涉無損檢測系統(tǒng),對SU-8光刻膠進(jìn)行了應(yīng)變分布檢測,對比分析了檢測結(jié)果與仿真結(jié)果,驗(yàn)證了錯(cuò)位散斑干涉技術(shù)在新應(yīng)用領(lǐng)域的無損檢測能力,為該技術(shù)的新應(yīng)用提供參考。
[Abstract]:Non-destructive testing (NDT) technology plays an important role in the monitoring of mechanical and mechanical properties (deformation, defects, etc.) of aerospace, machinery, materials and parts in advanced manufacturing, and in in-service inspection. Because of its advantages of full field, non-contact, high precision and high sensitivity, laser staggered speckle interferometry has become a common and efficient method in nondestructive testing. At present, the basic measurement theory and implementation methods of nondestructive testing technology based on laser dislocation speckle interferometry have been studied, but some key technologies and application potential still need to be further analyzed and studied. In this paper, the key technical problems in laser dislocation speckle interferometry are studied. The detailed research work includes the detailed introduction of the principle of nondestructive detection of laser dislocation speckle interferometry. The theoretical analysis and experimental study of the key technology are also carried out. (2) the determination of the key parameters in the space carrier phase shift technology is theoretically analyzed and verified by experiments. The relationship between the type of aperture in optical path, the spatial resolution of aperture size and CCD, the amount of dislocation, the direction of dislocation, and the application of staggered speckle interferometry are discussed in detail. The selection type and value range of them are determined. The methods of using large dislocation speckle interferometry and displacement derivative integral to directly measure the deformation displacement of an object are discussed. The methods discussed above have been verified experimentally, and the derivative integral method and the electronic speckle interferometric displacement measurement method have been compared and analyzed experimentally. (4) the staggered speckle interferometry has been applied to the strain distribution detection of SU-8 photoresist. The nondestructive testing system of laser dislocation speckle interferometry was designed. The strain distribution of SU-8 photoresist was detected. The results of test and simulation were compared and the ability of nondestructive testing of dislocation speckle interferometry in the new application field was verified. It provides a reference for the new application of this technology.
【學(xué)位授予單位】:合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TN247
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,本文編號(hào):1905248
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