發(fā)布時(shí)間：2018-04-22 09:23

  本文選題：測(cè)量 + 非球面檢測(cè)��； 參考：《中國(guó)激光》2017年01期

【摘要】：空間光調(diào)制器(SLM)可以在電驅(qū)動(dòng)等信號(hào)控制下,實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)振幅、相位、偏振態(tài)等信息,近年來(lái)已被嘗試用于代替計(jì)算全息(CGH)板實(shí)現(xiàn)非球面檢測(cè)。SLM像素尺寸在3.5~20μm,遠(yuǎn)大于CGH板刻蝕分辨率,使得SLM的相位調(diào)制量在像素尺度離散化,與理想的連續(xù)相位存在誤差,帶來(lái)檢測(cè)精度的降低。因此,有必要評(píng)估SLM像素尺寸對(duì)檢測(cè)精度的影響,從而選擇合適像素尺寸的SLM。基于菲涅耳衍射原理以及快速傅里葉變換算法,仿真波面經(jīng)SLM調(diào)制并傳播到待測(cè)表面的過(guò)程,并探究待測(cè)面處生成波面精度與SLM像素尺寸大小之間的關(guān)系。對(duì)多組波面進(jìn)行仿真并分析波面誤差分布發(fā)現(xiàn),SLM生成補(bǔ)償波面誤差與SLM像素尺寸所能表示的最大頻率相關(guān),檢測(cè)時(shí)需保證SLM像素尺寸所能表示的最大頻率大于補(bǔ)償波面頻率最大值。
[Abstract]:Spatial light modulator (SLM) can adjust amplitude, phase, polarization state and other information in real time under the control of electric drive and other signals. In recent years, it has been tried to replace the CGH board to realize the.SLM pixel size of aspherical detection in 3.5~20 mu m, which is far greater than the resolution of CGH plate etching, so that the phase modulation of SLM is discretized in the pixel scale. Therefore, it is necessary to evaluate the effect of SLM pixel size on detection precision, so that SLM. based on the Fresnel diffraction principle and fast Fourier transform algorithm are selected to simulate the process of the wave surface modulated by SLM and spread to the surface, and to explore the surface of the test surface. The relationship between the wavefront accuracy and the size of the SLM pixel is generated. The simulation of multiple sets of wavefront and the analysis of the distribution of the wavefront error find that the SLM generated compensation wave surface error is related to the maximum frequency of the SLM pixel size, and the maximum frequency of the SLM pixel size is greater than the maximum of the compensation wave plane.

【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)激光材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金(11602280)
【分類號(hào)】：TN761

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本文編號(hào)：1786596