本文關(guān)鍵詞： 探針臺 傳輸系統(tǒng) 預(yù)對準(zhǔn)　出處：《電子工業(yè)專用設(shè)備》2016年12期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：提出了一種硅片傳輸系統(tǒng)的預(yù)對準(zhǔn)算法,根據(jù)線陣CCD采集的邊緣電壓數(shù)據(jù)并結(jié)合機(jī)械手的固有特性,計算出圓心坐標(biāo)和切邊位置,實現(xiàn)硅片的預(yù)對準(zhǔn)。經(jīng)過實驗驗證,該算法有效提高了預(yù)對準(zhǔn)的可靠性和穩(wěn)定性。
[Abstract]:A prealignment algorithm for silicon wafer transmission system is proposed. According to the edge voltage data collected by linear CCD and the inherent characteristics of manipulator, the center coordinates and edge cutting position are calculated, and the pre-alignment of silicon wafer is realized. This algorithm effectively improves the reliability and stability of pre-alignment.
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所;
【分類號】：TN304.12

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本文編號：1501053