本文關(guān)鍵詞： 壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái) 非對稱致動(dòng)器 慣性力 率相關(guān)遲滯 電荷驅(qū)動(dòng)　出處：《壓電與聲光》2017年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：一個(gè)高速壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的性能經(jīng)常被支撐結(jié)構(gòu)的低諧振頻率所限制。采用一種非對稱致動(dòng)器可消除傳到基座上的慣性力,但傳統(tǒng)的電壓驅(qū)動(dòng)方法會(huì)引起嚴(yán)重的率相關(guān)遲滯,慣性力補(bǔ)償效果不佳。該文提出采用電荷驅(qū)動(dòng)法來消除非對稱致動(dòng)器產(chǎn)生的慣性力。實(shí)驗(yàn)表明,在激勵(lì)電壓峰-峰值為20V時(shí),采用電荷驅(qū)動(dòng)法,在110Hz~10kHz內(nèi)慣性力基本消除,補(bǔ)償效果比電壓驅(qū)動(dòng)方法好。
[Abstract]:The performance of a high speed piezoelectric platform is often limited by the low resonant frequency of the supporting structure. An asymmetric actuator is used to eliminate the inertial force transmitted to the base. However, the traditional voltage drive method can cause serious rate dependent hysteresis, and the inertial force compensation effect is not good. In this paper, a charge drive method is proposed to eliminate the inertia force generated by asymmetric actuator. When the peak value of excitation voltage is 20 V, the inertial force is basically eliminated at 110 Hz / 10 kHz by using the charge drive method, and the compensation effect is better than that of the voltage drive method.
【作者單位】： 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)工程科學(xué)學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51175488) 國家科技支撐計(jì)劃資助項(xiàng)目(2015BAK34B02)
【分類號(hào)】：TN384
【正文快照】： 0引言壓電致動(dòng)器因具有緊湊的結(jié)構(gòu)、較大的剛度和較快的響應(yīng)速度,被廣泛應(yīng)用于各種微定位平臺(tái)上。對于具有大帶寬的高速壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái),一般設(shè)計(jì)小尺寸的致動(dòng)器來獲得高諧振頻率。但用于安裝致動(dòng)器的支撐底座由于各種非理想因素的影響,經(jīng)常呈現(xiàn)很低的諧振頻率[1]。低頻時(shí),基座的

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本文編號(hào)：1477528