本文關(guān)鍵詞： 光柵 封裝結(jié)構(gòu) 時域有限差分法 耦合效率 透鏡　出處：《激光技術(shù)》2017年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了提高硅基光柵耦合封裝結(jié)構(gòu)的耦合效率、增大容差范圍,對光柵耦合的結(jié)構(gòu)特性進行了理論分析,并采用時域有限差分法完成了仿真驗證,在不改變光柵參量的基礎(chǔ)上,對光柵耦合封裝結(jié)構(gòu)進行了改進,仿真建立了一款光柵上方和光纖端面分別增加透鏡的優(yōu)化結(jié)構(gòu),研究了影響耦合效率的因素。結(jié)果表明,增加透鏡后,耦合效率有所增加,角度容差和帶寬都有一定的優(yōu)化;在襯底增加反射鏡后,對波長1550nm的光耦合效率提高至73.809%。該研究結(jié)果可為光柵耦合的封裝結(jié)構(gòu)設(shè)計提供參考依據(jù)。
[Abstract]:In order to improve the coupling efficiency and increase the tolerance range, the structure characteristics of the grating coupling are theoretically analyzed, and the simulation results are completed by using finite-difference time-domain method (FDTD). On the basis of not changing the grating parameters, the grating coupling packaging structure is improved, and an optimized structure of the grating upper and the fiber end face is established by simulation. The factors affecting coupling efficiency are studied. The results show that the coupling efficiency increases with the increase of lens, and the angle tolerance and bandwidth are optimized to some extent. When the reflector is added to the substrate, the optical coupling efficiency of 1550nm is increased to 73.809. The results can provide a reference for the design of the grating coupling packaging structure.
【作者單位】： 中國科學院大學;中國科學院微電子研究所;華進半導體封裝先導技術(shù)研發(fā)中心有限公司;西安微電子技術(shù)研究所;
【基金】：國家自然科學基金青年基金資助項目(61306136)
【分類號】：TN25
【正文快照】： 引言基于摩爾定律的硅基微電子學蓬勃發(fā)展,已經(jīng)深刻改變了人們生產(chǎn)生活的各個方面。但隨著特征尺寸的持續(xù)減小,微電子產(chǎn)業(yè)能否按照摩爾定律前進正面臨挑戰(zhàn)[1],傳統(tǒng)電互連的延遲、帶寬、功耗和信噪問題也日益顯著[2-3]。與電互連相比,基于硅光子的光互連具有大帶寬、低延遲、低

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本文編號：1474315