本文關(guān)鍵詞： 隨機(jī)電報(bào)信號(hào)(RTS)噪聲 短溝道MOS器件 噪聲測(cè)量 LMS算法 可靠性　出處：《半導(dǎo)體技術(shù)》2016年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：隨機(jī)電報(bào)信號(hào)(RTS)噪聲是表征短溝道器件可靠性的重要敏感參數(shù),能敏感地反映MOS器件中的邊界陷阱,為探測(cè)小尺寸器件中的缺陷提供了有效的手段。為了能夠準(zhǔn)確測(cè)量出RTS,采用了無(wú)噪聲偏置電路,設(shè)計(jì)了兩級(jí)抑噪電路。在兩通道三個(gè)運(yùn)算放大器的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了RTS噪聲測(cè)量放大器,提出一種改進(jìn)的變步長(zhǎng)LMS數(shù)字濾波器算法,構(gòu)造了步長(zhǎng)函數(shù)和誤差的相關(guān)值之間的非線性表達(dá)式。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在較小的RTS時(shí)間常數(shù)下,相同精度時(shí),參量提取的誤差比傳統(tǒng)方法減小20%,同時(shí)新算法具有更快的收斂速度,良好的穩(wěn)態(tài)誤差性。
[Abstract]:Random Telegraph signal (RTS) noise is an important sensitive parameter to characterize the reliability of short channel devices and can sensitively reflect the boundary traps in MOS devices. In order to accurately measure RTS, a noise-free bias circuit is used. A two-stage noise suppression circuit is designed. On the basis of two channels and three operational amplifiers, a RTS noise measurement amplifier is designed, and an improved variable step size LMS digital filter algorithm is proposed. The nonlinear expression between the step size function and the correlation value of the error is constructed. The experimental results show that the error of parameter extraction is 20% less than that of the traditional method under the small RTS time constant with the same precision. At the same time, the new algorithm has faster convergence speed and better steady-state error.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)電子信息工程學(xué)院;東北電力大學(xué)信息工程學(xué)院;北華大學(xué)電氣信息工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61271115)
【分類號(hào)】：TN386
【正文快照】： 0引言隨著器件工藝的不斷改進(jìn),短溝道MOS器件的低頻噪聲由1/f噪聲退化為隨機(jī)電報(bào)信號(hào)(RTS)噪聲[1]。由于信號(hào)對(duì)器件界面上的微小變化極其敏感,目前,RTS噪聲是對(duì)MOS器件邊界陷阱進(jìn)行非破壞性研究的唯一手段[2-5],也是表征短溝道器件可靠性的重要敏感參數(shù),而研究RTS噪聲的關(guān)鍵在

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

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【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1474688