本文關(guān)鍵詞： MEMS 帶通濾波器 交指結(jié)構(gòu) 小型化　出處：《微波學(xué)報(bào)》2016年S1期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：微波濾波器作為通信、雷達(dá)等系統(tǒng)中重要的選頻元件,其性能好壞將直接影響整個(gè)通信系統(tǒng)的性能[1]。濾波器的高性能、小型化是目前主要的研制目標(biāo)。本文介紹了C波段雙層微機(jī)械(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)濾波器,采用抽頭交指結(jié)構(gòu),采用電感耦合等離子(Inductively Coupled Plasma,ICP)深硅刻蝕和金-金鍵合工藝實(shí)現(xiàn)封閉諧振腔,大大減少了體積和輻射損耗。濾波器中心頻率為4.1GHz,,相對(duì)帶寬15%,駐波小于1.5,3.2GHz5GH處抑制大于45 d B。芯片尺寸為7 mm×7.8 mm×0.8 mm。本文給出了該濾波器的具體制作流程。實(shí)物測(cè)試結(jié)果表明,獲得的MEMS濾波器的測(cè)試結(jié)果與仿真結(jié)果基本一致。
[Abstract]:Microwave filter is an important component in communication, radar and other systems. Its performance will directly affect the performance of the whole communication system. [1. High performance of filter. Miniaturization is the main research target at present. This paper introduces a C-band micro-electromechanical micro-mechanical system MEMS filter. Using tap cross finger structure, inductively inductively Coupled plasma-ICP-based deep silicon etching and gold-gold bonding process to achieve a closed resonator. The center frequency of the filter is 4.1 GHz, the relative bandwidth is 15, and the standing wave is less than 1.5. 3.2GHz 5GH was inhibited more than 45 dB. The chip size was 7 mm 脳 7.8 mm 脳 0.8. In this paper, the process of making the filter is given. The physical test results show that. The measured results of the MEMS filter are in good agreement with the simulation results.
【作者單位】： 成都亞光電子股份有限公司微波毫米波研究所;電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院;
【分類號(hào)】：TN713
【正文快照】： 引言傳統(tǒng)的微波C波段濾波器,大多采用微帶交指結(jié)構(gòu),由于是開(kāi)放結(jié)構(gòu),所以輻射損耗較大,而且諧振單元依賴體積較大。很難達(dá)到濾波器所要求的高性能、小型化。這里介質(zhì)基片采用高阻硅介電常數(shù)大可以縮小體積,雙層硅基片形成封閉腔體,輻射損耗大大減少。MEMS技術(shù)是一種高精度多層

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3 孔W，

本文編號(hào)：1445138