本文關(guān)鍵詞：28nm集成電路銅互連弱堿性阻擋層拋光液性能

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【摘要】：報道了一種用于技術(shù)節(jié)點為28 nm的集成電路多層銅互連阻擋層化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)的弱堿性拋光液(pH值為8.5),僅由平均粒徑為20 nm的硅溶膠、FA/O多羥多胺螯合劑及非離子表面活性劑組成。實驗結(jié)果表明,研發(fā)的弱堿性阻擋層拋光液對犧牲層SiO2、阻擋層Ta及金屬互連線Cu等多種材料具有優(yōu)異的速率選擇性,去除速率一致性大于95%,并在28 nm多層銅布線片阻擋層CMP后具有較高的平坦化性能,分別獲得了20 nm以下深度的碟形坑和蝕坑。通過電化學(xué)極化曲線測試表明,此弱堿性阻擋層拋光液能有效減少Cu和Ta之間的腐蝕電位差,并避免了銅互連結(jié)構(gòu)Cu和Ta界面處電偶腐蝕的產(chǎn)生,這對提高集成電路芯片可靠性具有重要意義。
【作者單位】： 河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院;
【基金】：國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃02科技重大專項資助項目(2009ZX02308) 河北省自然科學(xué)基金青年基金資助項目(F2015202267) 河北工業(yè)大學(xué)優(yōu)秀青年科技創(chuàng)新基金資助項目(2015007)
【分類號】：TN405.97
【正文快照】： 0引言隨著集成電路(IC)芯片向微型化、高密度化、高速化、高可靠化和高集成化發(fā)展,IC芯片特征尺寸越來越小,銅互連線層數(shù)越來越高。為了滿足IC銅互連制備工藝中光刻要求的全局及局部納米級平整度,每層均必須平坦化。而化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)是目前唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局和局部平坦化

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 孫孟相;譚滿清;王魯峰;;1300nm超輻射發(fā)光二極管壽命測試[J];光學(xué)學(xué)報;2008年10期

2 Laura Peters;;在65nm及以下節(jié)點獲得良好的互連可靠性[J];集成電路應(yīng)用;2007年05期

3 黃鑫;宋愛民;段利華;;1053nm超輻射發(fā)光二極管量子阱的設(shè)計[J];半導(dǎo)體光電;2010年04期

4 宋曉舒;垂直腔面發(fā)射激光器制造商強(qiáng)攻1300nm電信業(yè)堡壘[J];光機(jī)電信息;2002年08期

5 繆彩琴;翁壽松;;研發(fā)≤65nm工藝的最新進(jìn)展[J];集成電路應(yīng)用;2005年01期

6 袁林;劉博;王邦新;鐘志慶;陳濤;戚福弟;周軍;;車載式1064nm米氏散射激光雷達(dá)的研制[J];中國激光;2010年07期

7 譚滿清,茅冬生,陳良惠,李玉璋;ECR plasma CVD法淀積980 nm大功率半導(dǎo)體激光器端面光學(xué)膜技術(shù)[J];中國激光;1999年09期

8 ;羅門哈斯電子材料公司推出用于90nm低k系列阻擋層研磨液[J];微納電子技術(shù);2004年11期

9 祝寶升;左潔;;1550nm在長距離數(shù)字電視傳輸系統(tǒng)中的應(yīng)用[J];中國有線電視;2007年21期

10 王華;孫國超;楊棄;;1550nm光傳聯(lián)網(wǎng)與城鄉(xiāng)有線雙向改造[J];中國數(shù)字電視;2007年07期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊天榮;;1064nm長脈沖Nd:YAG激光在人體脫毛的應(yīng)用[A];第八屆西南五省一市燒傷整形學(xué)術(shù)會議暨貴州省醫(yī)學(xué)會燒傷整形分會2010年學(xué)術(shù)年會論文匯編[C];2010年

2 文建湘;吳江;徐曉軍;文雁平;蕭天鵬;;高精度光纖陀螺用1550nm細(xì)徑保偏光纖的研制[A];全國第十三次光纖通信暨第十四屆集成光學(xué)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

3 任龍喜;尹建;焦守國;;Nd:YAG激光(1064nm)與半導(dǎo)體激光(980nm)對髓核組織生物熱效應(yīng)的對比性研究[A];中國康復(fù)醫(yī)學(xué)會第十一次全國頸椎病學(xué)術(shù)會議論文集[C];2009年

4 堯舜;劉云;王祥鵬;劉云;姚迪;王立軍;;13．2W連續(xù)輸出1540nm波段半導(dǎo)體激光陣列模塊[A];第十七屆全國激光學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

5 王思威;趙振宇;蔣江;張國強(qiáng);楊朱黎;;40nm超大規(guī)模集成電路電源網(wǎng)絡(luò)IR Drop預(yù)估[A];第十五屆計算機(jī)工程與工藝年會暨第一屆微處理器技術(shù)論壇論文集（A輯）[C];2011年

6 徐世祥;翟惠;楊旋;吳昆;曾和平;;用連續(xù)注入腔內(nèi)光參量手段實現(xiàn)產(chǎn)生與寬帶794nm光脈沖精確同步的1064nm光脈沖[A];中國光學(xué)學(xué)會2006年學(xué)術(shù)大會論文摘要集[C];2006年

7 沈忠偉;王兆華;劉成;魏志義;;基于非共線飛秒光學(xué)參量放大的高對比度1053nm超短脈沖激光的產(chǎn)生研究[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

8 任龍喜;尹建;焦守國;;Nd:YAG激光(1064nm)與半導(dǎo)體激光(980nm)對髓核組織生物熱效應(yīng)的對比性研究[A];第18屆中國康協(xié)肢殘康復(fù)學(xué)術(shù)年會論文選集[C];2009年

9 宋為民;沈靜;金憲強(qiáng);鄭涵;許愛娥;;波長1540nm點陣激光治療凹陷性痤瘡疤痕[A];2008年浙江省醫(yī)學(xué)美容暨整形外科學(xué)術(shù)會議論文匯編[C];2008年

10 張國強(qiáng);趙振宇;張民選;王思威;劉戰(zhàn)濤;;40nm工藝互連線延時優(yōu)化研究[A];第十五屆計算機(jī)工程與工藝年會暨第一屆微處理器技術(shù)論壇論文集（A輯）[C];2011年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;臺積電正式采用40nm工藝[N];中國電腦教育報;2008年

2 記者 陳功章　通訊員 瞿軍業(yè);蘭石化8000Nm~(3)/h制氮裝置一次開車成功[N];甘肅經(jīng)濟(jì)日報;2012年

3 劉洪宇;45nm：英特爾跨越制程分水嶺[N];中國計算機(jī)報;2007年

4 ;45nm以下銅互連不如碳納米管[N];中國電腦教育報;2008年

5 ;10nm晶體管[N];中國計算機(jī)報;2004年

6 本報記者 熊雯琳;英特爾在移動平臺的22nm博弈[N];電腦報;2011年

7 計算機(jī)世界實驗室 吳挺;45nm處理器掛帥[N];計算機(jī)世界;2007年

8 周童;同方首發(fā)45nm“液晶電視電腦”[N];計算機(jī)世界;2008年

9 余侃;英特爾開啟45nm新世界[N];中國電腦教育報;2007年

10 邱洪民;28nm沖擊波筆記本顯卡新格局[N];電腦報;2011年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 勞燕鋒;1310nm垂直腔面發(fā)射激光器設(shè)計與研制[D];中國科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2007年

2 李瓊;1470nm半導(dǎo)體介入式激光介導(dǎo)的新型人體輪廓塑形方法的臨床研究[D];南方醫(yī)科大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 朱志強(qiáng);基于28nm工藝的低功耗觸發(fā)器設(shè)計及優(yōu)化[D];安徽大學(xué);2015年

2 劉兆騰;低能量1064nm的Q開關(guān)Nd:YAG激光治療532nm激光術(shù)后色素沉著的療效觀察研究[D];安徽醫(yī)科大學(xué);2015年

3 雷o(hù)灬，

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