本文關(guān)鍵詞：無(wú)模型自適應(yīng)模糊算法的多晶硅棒溫度控制

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【摘要】：多晶硅還原爐硅棒表面溫度控制既要保證硅棒表面在最佳反應(yīng)溫度,又不要使其波動(dòng)較大。由于多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的氣相沉積反應(yīng)使硅棒電氣結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,因而存在很強(qiáng)的耦合作用和非線性特性。提出了以無(wú)模型自適應(yīng)模糊控制器為主控制器,以PI為副控制器的雙閉環(huán)結(jié)構(gòu)的控制系統(tǒng),采用基于無(wú)模型自適應(yīng)控制器的結(jié)構(gòu),根據(jù)無(wú)模型自適應(yīng)控制器的參數(shù)學(xué)習(xí)因子和步長(zhǎng)序列對(duì)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性能影響趨勢(shì),使用模糊自適應(yīng)方法,通過(guò)模糊規(guī)則在線修正無(wú)模型自適應(yīng)控制器的學(xué)習(xí)因子和步長(zhǎng)序列兩個(gè)參數(shù),使溫度控制系統(tǒng)既能保證收斂穩(wěn)定性,又能提高系統(tǒng)對(duì)于溫度控制的動(dòng)態(tài)性能。仿真結(jié)果表明了該控制方法的有效性。
【作者單位】： 湖南大學(xué)電氣與信息工程學(xué)院自動(dòng)化系;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.61102039,No.60876022)
【分類號(hào)】：TN304.12;TP273.2
【正文快照】： 還原爐多晶硅的生產(chǎn)需經(jīng)過(guò)預(yù)加熱、持續(xù)加熱和恒溫加熱3個(gè)過(guò)程,而恒溫加熱過(guò)程是其中最重要的環(huán)節(jié),需要保持硅棒表面的溫度恒定在1 000℃~1 080℃。硅棒表面的溫度除了電源通電加熱影響外,還受到爐內(nèi)混合氣體壓力、濃度和配比、爐體冷卻系統(tǒng)作用效果等影響,被控對(duì)象存在非線性

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