本文關(guān)鍵詞：基于局部與非局部線性判別分析和高斯混合模型動(dòng)態(tài)集成的晶圓表面缺陷探測(cè)與識(shí)別

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【摘要】：在復(fù)雜的半導(dǎo)體制造過(guò)程中,晶圓生產(chǎn)經(jīng)過(guò)薄膜沉積、蝕刻、拋光等多項(xiàng)復(fù)雜的工序,制造過(guò)程中的異常波動(dòng)都可能導(dǎo)致晶圓缺陷產(chǎn)生.晶圓表面的缺陷模式通常反映了半導(dǎo)體制造過(guò)程的各種異常問(wèn)題,生產(chǎn)線上通過(guò)探測(cè)和識(shí)別晶圓表面缺陷,可及時(shí)判斷制造過(guò)程故障源并進(jìn)行在線調(diào)整,降低晶圓成品率損失.本文提出了基于一種流形學(xué)習(xí)算法與高斯混合模型動(dòng)態(tài)集成的晶圓表面缺陷在線探測(cè)與識(shí)別模型.首先該模型開發(fā)了一種新型流形學(xué)習(xí)算法—局部與非局部線性判別分析法(Local and nonlocal linear discriminant analysis,LNLDA),通過(guò)融合數(shù)據(jù)局部/非局部信息以及局部/非局部懲罰信息,有效地提取高維晶圓特征數(shù)據(jù)的內(nèi)在流形結(jié)構(gòu)信息,以最大化數(shù)據(jù)不同簇樣本的低維映射距離,保持特征數(shù)據(jù)中相同簇的低維幾何結(jié)構(gòu).針對(duì)線上晶圓缺陷產(chǎn)生的隨機(jī)性和復(fù)雜性,該模型對(duì)每種晶圓缺陷模式構(gòu)建相應(yīng)的高斯混合模型(Gaussian mixture model,GMM),提出了基于高斯混合模型動(dòng)態(tài)集成的晶圓缺陷在線探測(cè)與識(shí)別方法.本文提出的模型成功地應(yīng)用到實(shí)際半導(dǎo)體制造過(guò)程的晶圓表面缺陷在線探測(cè)與識(shí)別,在WM-811K晶圓數(shù)據(jù)庫(kù)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了該模型的有效性與實(shí)用性.
【作者單位】： 同濟(jì)大學(xué)機(jī)械與能源工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51375290;71001060) 上海市教育委員會(huì)科研創(chuàng)新項(xiàng)目(13YZ002) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金資助~~
【分類號(hào)】：TN305
【正文快照】： 半導(dǎo)體制造是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)態(tài)制造過(guò)程,晶圓生產(chǎn)需經(jīng)過(guò)薄膜沉積、蝕刻、拋光等多道復(fù)雜的工序.工序異常可能導(dǎo)致晶圓缺陷產(chǎn)生,比如薄膜沉積過(guò)程中的不均勻或者退火處理中溫度的不均勻 分布都容易造成晶圓表面Center和Edge-ring缺陷[1].因此,準(zhǔn)確識(shí)別晶圓在線制造過(guò)程中的

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 鄭建煒;王萬(wàn)良;姚曉敏;石海燕;;張量局部Fisher判別分析的人臉識(shí)別[J];自動(dòng)化學(xué)報(bào);2012年09期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 龔劬;唐萍峰;;基于大間距準(zhǔn)則的不相關(guān)保局投影分析[J];自動(dòng)化學(xué)報(bào);2013年09期

2 藺，

本文編號(hào)：1209304