本文關(guān)鍵詞：光刻投影物鏡恒溫水套小比例模型的設(shè)計(jì)與性能測(cè)試

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【摘要】：恒溫水套是光刻物鏡工作環(huán)境溫度控制系統(tǒng)的重要組成部分。為了研究恒溫水套的關(guān)鍵參數(shù)與性能,設(shè)計(jì)了一個(gè)小比例水套模型。恒溫溫控系統(tǒng)對(duì)其提供±0.001℃的去離子水,通過(guò)對(duì)比三鏡光機(jī)系統(tǒng)溫度變化及熱像差變化獲取小比例水套的關(guān)鍵參數(shù)。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,在加入熱擾動(dòng)且環(huán)境溫度為22.06~22.16℃的情況下,三鏡光機(jī)系統(tǒng)的內(nèi)壁溫度被控制在(22±0.01)℃以內(nèi),波像差在熱擾動(dòng)后迅速恢復(fù)至10.12nm,與裝調(diào)完畢狀態(tài)基本一致。由此可見(jiàn),此種水套結(jié)構(gòu)可以滿足光刻投影物鏡的溫度控制要求,可在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)等比例恒溫水套模型。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程中心;空軍航空大學(xué)航空理論系;
【基金】：國(guó)家重大專項(xiàng)基金(2009ZX02205)
【分類號(hào)】：TN305.7
【正文快照】： 近年來(lái),超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線在我國(guó)國(guó)民生產(chǎn)中發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。光刻投影物鏡作為集成電路生產(chǎn)線的核心部件,對(duì)工作環(huán)境的要求極高,溫度、氣壓、潔凈度、噪聲、振動(dòng)等參數(shù)都需要控制在一個(gè)極小的波動(dòng)范圍內(nèi)[1-4]。其中,溫度控制是光刻系統(tǒng)工作環(huán)境控制的難點(diǎn)之一[5-8]

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1205237