本文關(guān)鍵詞：基于巰基-烯材料的亞波長(zhǎng)光柵制備方法研究

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【摘要】：針對(duì)亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)和特性要求,本文提出了一種基于巰基-烯材料的亞波長(zhǎng)光柵的制備方法。該方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)為壓印模板,以巰基-烯材料作為壓印膠,利用紫外光固化軟印刷技術(shù)制備以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)為波導(dǎo)層的巰基-烯材料亞波長(zhǎng)光柵。本文對(duì)巰基-烯亞波長(zhǎng)光柵三層結(jié)構(gòu)進(jìn)行了模擬仿真,并利用該方法制備了周期為300 nm的巰基-烯亞波長(zhǎng)光柵,仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明該光柵可以在特定角度反射波長(zhǎng)為448 nm～482 nm的藍(lán)光,實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象與仿真結(jié)果一致,表明提出的方法可以有效的制備聚合物材料亞波長(zhǎng)光柵。同時(shí)該方法操作簡(jiǎn)單、成本低、易于大批量復(fù)制,在微納米結(jié)構(gòu)制備方面具有廣闊的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11174281)
【分類號(hào)】：TN25
【正文快照】： 0引言亞波長(zhǎng)光柵是一種光柵周期小于工作波長(zhǎng)的光柵,是現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)中的一種重要光學(xué)結(jié)構(gòu)。當(dāng)亞波長(zhǎng)光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)滿足一定條件時(shí)會(huì)在特定波長(zhǎng)和入射角處發(fā)生共振,此時(shí)的光柵叫做共振亞波長(zhǎng)光柵。理論研究分析共振亞波長(zhǎng)光柵具有將入射光耦合到波導(dǎo)層中形成峰值效率幾乎為100

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本文編號(hào)：1178604