本文關(guān)鍵詞：基于巰基-烯材料的亞波長光柵制備方法研究

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【摘要】：針對亞波長光柵結(jié)構(gòu)和特性要求,本文提出了一種基于巰基-烯材料的亞波長光柵的制備方法。該方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亞波長光柵結(jié)構(gòu)為壓印模板,以巰基-烯材料作為壓印膠,利用紫外光固化軟印刷技術(shù)制備以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)為波導層的巰基-烯材料亞波長光柵。本文對巰基-烯亞波長光柵三層結(jié)構(gòu)進行了模擬仿真,并利用該方法制備了周期為300 nm的巰基-烯亞波長光柵,仿真和實驗結(jié)果表明該光柵可以在特定角度反射波長為448 nm～482 nm的藍光,實驗現(xiàn)象與仿真結(jié)果一致,表明提出的方法可以有效的制備聚合物材料亞波長光柵。同時該方法操作簡單、成本低、易于大批量復制,在微納米結(jié)構(gòu)制備方面具有廣闊的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 中國科學院光電技術(shù)研究所;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(11174281)
【分類號】：TN25
【正文快照】： 0引言亞波長光柵是一種光柵周期小于工作波長的光柵,是現(xiàn)代光學技術(shù)中的一種重要光學結(jié)構(gòu)。當亞波長光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)滿足一定條件時會在特定波長和入射角處發(fā)生共振,此時的光柵叫做共振亞波長光柵。理論研究分析共振亞波長光柵具有將入射光耦合到波導層中形成峰值效率幾乎為100

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本文編號：1178604