本文關(guān)鍵詞：激光全息光刻技術(shù)在微納光子結(jié)構(gòu)制備中的應(yīng)用進(jìn)展

  更多相關(guān)文章： 微納光子結(jié)構(gòu) 激光全息光刻 光子晶體 超材料

【摘要】：微納光子結(jié)構(gòu)研究隨著光子學(xué)、半導(dǎo)體物理學(xué)及微加工技術(shù)的發(fā)展而逐漸蓬勃開展,并在其結(jié)構(gòu)、理論、制備技術(shù)等方面取得了系列進(jìn)展。受限于目前的微加工技術(shù)水平,要成功制備大尺度、高質(zhì)量的光子材料仍然存在著一定挑戰(zhàn)。激光全息光刻技術(shù)作為一種簡便快捷的微結(jié)構(gòu)制作技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成為一種經(jīng)濟(jì)快速制作大面積微納超材料及光子晶體模板的重要手段。介紹了激光全息光刻技術(shù)的原理,詳細(xì)闡述了該技術(shù)在制作三維面心立方、木堆積結(jié)構(gòu)、金剛石結(jié)構(gòu)光子晶體以及光學(xué)周期類準(zhǔn)晶、手性超材料、周期性缺陷結(jié)構(gòu)等微納光子結(jié)構(gòu)中的應(yīng)用研究進(jìn)展。激光全息光刻技術(shù)成功制作微納光子結(jié)構(gòu)為光子材料在更多領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用提供了基礎(chǔ)和方法。
【作者單位】： 青島科技大學(xué)數(shù)理學(xué)院;山東省新型光電材料與技術(shù)工程實(shí)驗(yàn)室;香港科技大學(xué)物理系;
【關(guān)鍵詞】： 微納光子結(jié)構(gòu) 激光全息光刻 光子晶體 超材料
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11274189,61405101) 山東省高等學(xué)�？萍加�(jì)劃項(xiàng)目(J14LJ06) 山東省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(ZR2014FP012)資助
【分類號】：TN249
【正文快照】： 3.香港科技大學(xué)物理系,中國香港引言微納光子結(jié)構(gòu)隨著光子學(xué)、半導(dǎo)體物理學(xué)及微加工技術(shù)的發(fā)展而逐漸蓬勃開來。能夠有效調(diào)控光子運(yùn)動的光子結(jié)構(gòu),諸如手性材料[1](chiral materials)、光子晶體[2-3](pho-tonic crystals)、負(fù)折射率材料[4](negative refraction indexmaterials

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 溫尚明,袁大發(fā),唐勇,孫秋燕,白德開;二十一世紀(jì)微電子光刻技術(shù)與設(shè)備的發(fā)展對策研究[J];世界科技研究與發(fā)展;2000年01期

2 陳夢真;微光刻技術(shù)的發(fā)展[J];現(xiàn)代物理知識;1989年05期

3 羅春龍;;微電子——光刻技術(shù)的演進(jìn)[J];國際科技交流;1990年07期

4 王占山,曹健林,陳星旦;極紫外投影光刻技術(shù)[J];科學(xué)通報(bào);1998年08期

5 陳獻(xiàn)忠,姚漢民,陳旭南,李展,羅先剛;納米光刻技術(shù)的現(xiàn)狀和未來[J];物理;2002年11期

6 李鈺庭;氟化鎂場鏡上的調(diào)制盤光刻技術(shù)[J];光學(xué)技術(shù);1985年04期

7 ;微細(xì)加工技術(shù)——光刻技術(shù)簡介[J];中國科技信息;2001年22期

8 羅先剛,姚漢民,嚴(yán)佩英,陳旭南,馮伯儒;納米光刻技術(shù)[J];物理;2000年06期

9 ;科學(xué)家巧用沾筆納米光刻技術(shù)獲得生物超材料[J];發(fā)明與創(chuàng)新(綜合科技);2010年06期

10 ;單晶體管高密度存貯器[J];國外發(fā)光與電光;1974年03期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 溫尚明;;21世紀(jì)微電子光刻技術(shù)與設(shè)備的發(fā)展對策研究[A];西部大開發(fā) 科教先行與可持續(xù)發(fā)展——中國科協(xié)2000年學(xué)術(shù)年會文集[C];2000年

2 梅文輝;;無掩模數(shù)字光刻技術(shù)中的點(diǎn)陣列曝光技術(shù)[A];“廣東省光學(xué)學(xué)會2013年學(xué)術(shù)交流大會”暨“粵港臺光學(xué)界產(chǎn)學(xué)研合作交流大會”會議手冊論文集[C];2013年

3 丁玉成;劉紅忠;盧秉恒;李滌塵;;下一代光刻技術(shù)——壓印光刻[A];人才、創(chuàng)新與老工業(yè)基地的振興——2004年中國機(jī)械工程學(xué)會年會論文集[C];2004年

4 伊福廷;張菊芳;侯鳳杰;;利用光刻技術(shù)研制霧化器的金屬微孔陣列[A];2007年中國機(jī)械工程學(xué)會年會之第12屆全國特種加工學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

5 伊福廷;張菊芳;侯鳳杰;;利用光刻技術(shù)研制霧化器的金屬微孔陣列[A];2007年中國機(jī)械工程學(xué)會年會論文集[C];2007年

6 李雯;譚智敏;薛昕;劉理天;;紫外厚膠光刻技術(shù)在3-D MEMS電感中的應(yīng)用[A];首屆信息獲取與處理學(xué)術(shù)會議論文集[C];2003年

7 李濤;李洪祥;胡文平;;硅片上超微電極的光刻制備及其電化學(xué)表征[A];中國化學(xué)會第26屆學(xué)術(shù)年會有機(jī)固體材料分會場論文集[C];2008年

8 郭育華;劉剛;田揚(yáng)超;;NSRL的同步輻射X射線深度光刻技術(shù)[A];光子科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化——長三角光子科技創(chuàng)新論壇暨2006年安徽博士科技論壇論文集[C];2006年

9 紀(jì)德洋;江浪;董煥麗;胡文平;;基于聚酰亞胺的大面積柔性的器件和電路[A];第十六屆全國晶體生長與材料學(xué)術(shù)會議論文集-08納米晶體及其表征[C];2012年

10 趙永蓬;徐強(qiáng);李琦;王騏;;極紫外光刻光源關(guān)鍵技術(shù)研究[A];豫贛黑蘇魯五省光學(xué)（激光）學(xué)會聯(lián)合學(xué)術(shù)2012年會論文摘要集[C];2012年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 穆強(qiáng) 趙艷秋 編譯;下一代光刻技術(shù)的煩惱[N];中國電子報(bào);2002年

2 吳宗翰 DigiTimes;光刻技術(shù)跟不上 發(fā)展恐有大瓶頸[N];電子資訊時(shí)報(bào);2007年

3 馮衛(wèi)東;美推出軟干涉光刻技術(shù)[N];科技日報(bào);2007年

4 記者 張孟軍;四大公司聯(lián)手研發(fā)納米光刻技術(shù)[N];科技日報(bào);2005年

5 沈建苗　編譯;下一代光刻技術(shù)面臨難題[N];計(jì)算機(jī)世界;2007年

6 特約撰稿 莫大康;14nm制程向左還是向右？[N];中國電子報(bào);2013年

7 毛黎;極紫外光刻技術(shù)研發(fā)取得突破[N];科技日報(bào);2008年

8 燕蕙;臺積電明年中啟用193納米濕浸式光刻技術(shù)[N];電子資訊時(shí)報(bào);2004年

9 楊春;臺積電計(jì)劃發(fā)展EUV光刻技術(shù) 技術(shù)和成本仍是最大障礙[N];電子資訊時(shí)報(bào);2008年

10 王琰;EUV光刻技術(shù)將于2009年量產(chǎn)[N];中國計(jì)算機(jī)報(bào);2004年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 耿臻;納米級集成電路計(jì)算光刻技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2015年

2 李鳳有;激光直寫光刻技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2002年

3 張登英;毛細(xì)力光刻技術(shù)及其應(yīng)用研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

4 陸冰睿;納米光刻技術(shù)在納米光子晶體、超材料和生物學(xué)中的應(yīng)用[D];復(fù)旦大學(xué);2010年

5 張錦;激光干涉光刻技術(shù)[D];四川大學(xué);2003年

6 劉韌;基于UV-LIGA光刻技術(shù)的曝光及后烘過程仿真研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2010年

7 謝春蕾;應(yīng)用于深亞波長光刻的光學(xué)鄰近校正技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2014年

8 王二偉;納米分辨率定位檢測方法研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 馬銀鳳;65nm先進(jìn)節(jié)點(diǎn)OPC后續(xù)修補(bǔ)方法的研究[D];復(fù)旦大學(xué);2013年

2 李鋼;90nm SRAM光刻技術(shù)引入與改進(jìn)[D];復(fù)旦大學(xué);2014年

3 蘇玲俐;含螺VA嗪的光致變色薄膜微納周期結(jié)構(gòu)制備技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2014年

4 熊崢;基于DMD的數(shù)字光刻技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2016年

5 韓雪;基于掃描拼接的大面積光刻技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2014年

6 陳根華;基于表面等離子體激元的納米結(jié)構(gòu)產(chǎn)生和光刻技術(shù)[D];蘇州大學(xué);2013年

7 葛偉豪;基于表面等離子體共振腔的可調(diào)諧納米光刻技術(shù)研究[D];蘇州大學(xué);2011年

8 李揚(yáng)環(huán);反向光刻技術(shù)和版圖復(fù)雜度研究[D];浙江大學(xué);2012年

9 董啟明;超透鏡（Superlens）光刻技術(shù)的研究[D];電子科技大學(xué);2013年

10 樊鄉(xiāng);光罩霧狀缺陷檢測頻率的研究[D];上海交通大學(xué);2009年

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本文編號：1005902