微型薄膜電阻的制備及研究
本文關鍵詞:微型薄膜電阻的制備及研究
【摘要】:將具有優(yōu)異特性的碳納米管(CNTS)與負性感光膠(SU-8 2002)混合得到復合材料,將不同比例的碳納米管通過超聲工藝分散到SU-8 2002感光膠中,通過UV-LIGA加工工藝,熱壓處理后實現(xiàn)了微型電阻的快速制備。對復合薄膜電阻的性能進行測試,測試結果表明復合薄膜電阻率隨著碳納米管比例的增加而減小,當碳納米管的比例為12%時,電阻率減小到0.06Ω?m,復合材料達到逾滲閾值,頻率小于1.2 GHz時,電阻值的變化范圍小于5%,為快速制備微型電阻提供了新的方法。
【作者單位】: 中北大學電子測試技術重點實驗室;
【關鍵詞】: 復合材料 微型電阻 熱壓 電阻率
【基金】:國家自然基金項目(61401405);國家自然基金項目(51475438) 山西省基礎研究項目(2014011021-4)
【分類號】:TM54
【正文快照】: 日本科學家20多年前在制備碳纖維的實驗過程中首次發(fā)現(xiàn)了碳納米管(Carbon Nanotube)[1],碳納米管不僅具有高的電導率和大的長徑比[2],同時還具有高導熱性、高機械強度、低質量密度以及高拉伸模量等特點[3-4]。由于碳納米管的尺寸比較小,只有均勻分散于高分子基體材料中其優(yōu)良
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本文編號:709509
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