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等間距平行電極接觸電阻測試法

發(fā)布時間:2018-11-16 08:32
【摘要】:根據(jù)不同電流模式下金屬-半導(dǎo)體界面的接觸電阻表達式,結(jié)合端電阻,推導(dǎo)出不同接觸電阻之間的關(guān)系式,進一步提出等間距傳輸線模型(以下簡稱SSTLM)的接觸電阻測試法。該模型測量方便、計算精確,適用于等間距平行電極之間接觸電阻的測量,特別適用于晶體硅太陽電池串聯(lián)電阻的測試與分析。
[Abstract]:According to the contact resistance expression of metal-semiconductor interface under different current modes and combining with terminal resistance, the relationship between different contact resistances is derived, and the method of measuring contact resistance of equal-spacing transmission line model (SSTLM) is put forward. The model is suitable for measuring the contact resistance between parallel electrodes, especially for the measurement and analysis of the series resistance of crystalline silicon solar cells.
【作者單位】: 上海交通大學(xué)理學(xué)院;寧波尤利卡太陽能科技發(fā)展有限公司;
【分類號】:TM934.1

【參考文獻】

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【共引文獻】

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3 華文玉,陳存禮;用改進的圖形結(jié)構(gòu)測量金屬/薄層半導(dǎo)體的接觸電阻率[J];半導(dǎo)體學(xué)報;1997年11期

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9 華文玉,陳存禮;判斷金屬/薄層半導(dǎo)體歐姆接觸質(zhì)量的一個新方法[J];電子學(xué)報;1999年08期

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6 何堂貴;晶體硅太陽電池制作中的擴散工藝研究[D];電子科技大學(xué);2009年

7 陸玨;GaN基歐姆接觸及AlGaN/GaN HEMT器件研究[D];西安電子科技大學(xué);2007年

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【二級參考文獻】

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2 陳存禮,徐世暉;平面型器件歐姆接觸的衡量——圓形傳輸線模型外推法[J];半導(dǎo)體學(xué)報;1987年01期

3 華文玉,陳存禮;用改進的圖形結(jié)構(gòu)測量金屬/薄層半導(dǎo)體的接觸電阻率[J];半導(dǎo)體學(xué)報;1997年11期

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5 馬駿,董友蘇,,諸惠興;電接點動態(tài)開閉接觸電阻及測量[J];貴金屬;1996年04期

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3 劉穎異;陳德桂;紐春萍;季良;;帶電壓反饋的智能接觸器的動態(tài)特性及觸頭彈跳的仿真與研究[A];第一屆電器裝備及其智能化學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

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本文編號:2335024

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