【摘要】：為解決線陣CCD用于投射電容屏氧化銦錫(ITO)電路檢測(cè)時(shí)不易獲取高對(duì)比度圖像的問(wèn)題,根據(jù)明場(chǎng)照明反射成像原理,設(shè)計(jì)并構(gòu)建了一套基于最大疊加反射系數(shù)差值的同軸照明與成像系統(tǒng).根據(jù)投射電容屏ITO電路與玻璃基板的光學(xué)特性及ITO電路的幾何特征,分析了光源照射及成像方式;根據(jù)ITO電路的多層復(fù)合結(jié)構(gòu),分析了影響ITO電路與玻璃基板成像對(duì)比度的影響因素;在滿足較高生產(chǎn)率的運(yùn)動(dòng)速度下,通過(guò)對(duì)比不同光照亮度下所獲取的系列圖像,確定了可獲得高對(duì)比度ITO電路與玻璃基板圖像的成像系統(tǒng)工作參數(shù).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:檢測(cè)精度為10μm、ITO基板運(yùn)動(dòng)速度為130 mm/s且光照亮度等級(jí)為190時(shí),所獲圖像的灰度直方圖具有顯著雙峰值,易于識(shí)別ITO電路缺陷.
[Abstract]:In order to solve the problem that it is difficult to obtain high contrast image when linear CCD is used to detect indium tin oxide (ITO) circuit of projection capacitor screen, according to the principle of reflection imaging of bright field illumination, A coaxial illumination and imaging system based on the maximum superimposed reflection coefficient difference is designed and constructed. According to the optical characteristics of the ITO circuit and the glass substrate and the geometric characteristics of the ITO circuit, the illumination and imaging methods of the light source are analyzed, and according to the multilayer composite structure of the ITO circuit, The influence factors on the contrast between ITO circuit and glass substrate imaging are analyzed, and the series images obtained by comparing the different illumination luminance with the high productivity motion speed are analyzed. The working parameters of the imaging system which can obtain high contrast ITO circuit and glass substrate image are determined. The experimental results show that when the detection accuracy is 10 渭 m and the moving speed of the ITO substrate is 130 mm/s and the illumination level is 190, the gray histogram of the obtained image has significant double peaks, and it is easy to recognize the defects of the ITO circuit.
【作者單位】： 華南理工大學(xué)機(jī)械與汽車工程學(xué)院;
【基金】：廣東省工業(yè)高新技術(shù)攻關(guān)引導(dǎo)項(xiàng)目(2013B010402003)
【分類號(hào)】：TM24;TP391.41

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本文編號(hào)：2243254